半导体单晶激光定向.docx

半导体单晶激光定向 【引言】 目前， 半导体的研究和生产所用的材料仍以硅、锗及化合物半导体为主。它们的结构主 要是金刚石， 闪锌矿和纤维矿结构。晶体的鲜明的特点是各个方向性质不同。即具有各向异 性的特点。在不同的晶轴方向， 它们的物理性能， 化学性能差别非常大。例如： 晶面的法向 生长速度， 腐蚀速度。杂质的扩散速度， 氧化速度， 以及晶面的解理特性等等， 都由于晶体 的取向不同而不同。况且在科研和生产中， 由于我们制造的器件使用目的不同。往往也要求 我们所用基片的半导体材料的晶向不同。所以我们需首先对晶轴进行定向。 测定晶体取向有解理法， X 射线劳埃法， X 射线衍射法和光学反射图象法等