清洗机电机感应开关报警维修方案设计.pdf

题目:清洗机电机感应开关报警维修方案设计 目 录 1.设备介绍1 1.1 设备构成 1 1.2 设备操作 1 1.3 故障现象 2 1.4 故障现象确认 2 2．车间操作要求2 2.1 一般要求 2 2.2 工作前要求 2 2.3 工作中要求 3 2.4 工作后要求 3 3．诊断流程方案设计及实施3 3.1 自动晶圆清洗机诊断流程方案 3 3.2 方案的实施 4 4.修复验证8 4.1 故障排除方法 8 4.2 修复后验证 9 5.总结9 参考文献9 清洗机电机感应开关报警维修方案设计 1.设备介绍 1.1 设备构成 自动晶圆清洗机主要应用在LED 产业，自动晶圆清洗机主要用化学物品与 清洗机相互配合，清除来自周边环境附着在晶圆表面的一些赃污，以达到半导 体组件电气特性和可靠性。赃污来源非常广泛，来自制造工程师和现场操作人 员带来的灰尘、手指接触的汗液、空气中的灰尘等，所以自动晶圆清洗机在整 个LED 制造工艺上是极为重要的一环。本次维修的自动晶圆清洗机的制造厂商 为深圳市景盛精密技术有限公司生产，其额定功率为5kw，额定电流为15A，控 制系统采用的是三菱FX-1N，如下图1-1 所示。 图1-1 1.2 设备操作 （1）将控制面板电源开关顺时针旋转到on 档，开启主电源。 （2）打开设备的空气过滤阀，检查气体压力是否为0.5MPa。 1 （3）将设备的急停按钮打开。 （4）将设备的复位按钮按下，设备所有气缸、伺服电机、工作台复位完成， 回到设备的初始状态，待设备三色灯由红色报警灯切换为黄色待机灯，则设备 复位完成。 （5）按下启动按钮，三色灯由黄色待机灯切换至绿色工作灯状态，机器进 入自动清洗。 （6）按下停止按钮，使设备进入暂停状态，三色灯由绿灯切换为黄灯。 （7）按下复位按钮，设备回到初始状态。 （8）按下设备急停按钮，设备进入保护模式，三色灯红色报警并发出警报 声。 （9）将电柜主电源开关逆时针旋转到off 档，关闭主电源。 1.3 故障现象 自动晶圆清洗机1 号工位调速电机感应开关报警。 1.4 故障现象确认 经现场观察导致自动晶圆清洗机1 号工位调速电机感应开关报警的主要原 因是调速电机停止转动，监测调速电机的感应开关无法感应到电机转动，设备 [1] 报警，检查到调速电机不转动，设备控制 1 号工位调速电机损坏 。 2 ．车间操作要求 2.1 一般要求 （1）操作者必须经安全与专业技能知识培训，考核合格后方可上岗。 （2）工作期间严禁嬉戏打闹、串岗、玩手机、擅自离岗。 （3）作业员进入车间时，应该进入风淋室除尘。 2.2 工作前要求 （1）按要求穿戴好防尘用品（无尘服、劳保鞋、橡胶手套）。 （2）每日进行点检，如有异常时及时汇报，并做好记录。 （3）检查设备周围是否存在脏污，是否存在影响产品质量的因素。 2 （4）检查设备清洁是否完好无损坏，设备警报灯是否正常。 （5）设备清洁模块处于初始位置，才能自动运行。 （6) 检查主操作面板上 “急停开关”是否完好有效。 2.3 工作中要求 （1）设备自动运行时严禁打开电气柜门和安全门。 （2）设备自动运行时严禁瞌睡，走神。 （3）设备自动运行时禁止人员将手伸入，如发现有人进入应立即按“急停 按钮”。 （4）发现设备异常时，应该立即拍下急停按钮，保护现场，并及时通知相 关负责人及维修人员。 2.4 工作后要求