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图5－5双缸滑阀泵的平衡 第三十页，共七十一页。 六、罗茨式真空泵 6.1 概述 罗茨式真空泵（简称罗茨泵）是一种无内压缩的旋转变容式真空泵。主要特点有： 在较宽的压力范围内有较大的抽速 ； 转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵腔内运动件无摩擦，不必润滑，泵腔内无油； 转子形状对称，动平衡性能良好，运转平稳，选择高精度的齿轮传动，运转时噪音低； 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 由于压缩比比较小，在抽气过程中消耗的功率比较大。 真空获得设备 东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 第三十一页，共七十一页。 真空获得设备 东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 罗茨泵的种类:低真空罗茨泵，如直排大气的干式单级罗茨泵（10000Pa）和湿式罗茨泵(2000Pa)；中真空罗茨泵，如机械增压泵（1×10-1 Pa）等；高真空罗茨泵，如多级干式罗茨泵（直排大气1Pa）。 第三十二页，共七十一页。 真空获得设备 东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。其抽气过程如右图所示，两个转子由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动 。转子彼此无接触，其间存在间隙。 6.2罗茨泵的工作原理及其结构特点 第三十三页，共七十一页。 真空获得设备 东北大学首期《真空技术》培训班系列教