第7章其它光电探测器.pptVIP

根据红外焦平面器件信号电荷的读出及处理的不同分为混合式和单片式两种结构。 混合式红外焦平面阵列器件是由红外探测器与硅CCD信息处理器二部分通过镶嵌技术与互连电路组合起来，其关键技术就在于探测器与CCD之间的镶嵌技术与互连电路。 单片式焦平面阵列器件，通常选择具有合适光谱响应的本征红外探测器材料，如InSb、HgCdTe、PbSnTe等，在其上面作出光敏元及电荷读出结构。 五、电荷耦合CCD成像器件的性能参数 1）分辨率 CCD的分辨率与像素数、每个像元的尺寸和像元之间的间距有关； 当像素数一定时，转移损失率对空间分辨率的影响很大； 若光生载流子产生在离耗尽层较远的地方时，产生横向扩散，引起像素之间相互干扰，造成空间分辨率降低。 2）暗电流 暗电流主要由耗尽区的热激发载流子，以及Si和SiO2界面态的复合等原因造成，暗电流使势阱慢慢地被填满，减小了动态范围。尤其是暗电流在整个成像区不均匀时，使像面严重畸变。 3）灵敏度 灵敏度主要由CCD器件响应度和各种噪声因素共同决定。由于CCD结构复杂，噪声源也较多，主要有: 光子噪声; 暗电流噪声; 表面捕获噪声; “肥零”噪声; 输出电路噪声等。 4）动态范围 动态范围是指对于光照度有较大变化时，器件仍能线性响应。它的上限是由电荷最大存贮容量决定，下限仍是噪声所限制。 5）光谱响应 CCD器件的光谱响应与所用材料有关。通常用Si