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激光制造技术的发展趋势;述了激光制造系统发展以及激光制造技术在当代产业中地位。在分析国外研究动向基础上,指出激光制造技术发展趋势将重点定位在微结构、;微刻蚀、微工具以及多功效性微技术、微工程研究与开发上。能够预测,三维微纳尺度激光微制造技术必将成为新世纪主流制造技术。序言自1;960年第一台激光器问世以来,激光研究及其在各个领域应用得到了快速发展。其高相干性在高精密测量、物质结构分析、信息存放及通信等;领域得到了广泛应用。激光高单色性,可在光化学领域对一些相距很近能级作选择激发,进行重金属同位素分离;激光高方向性和高亮度可广;泛应用于加工制造业(大到航天器、飞机、汽车工业,小到微电子、信息、生物细胞分离等微技术)。伴随激光器件、新型受激辐射光源,以及对应工;艺不停革新与优化,尤其是近20年来,激光制造技术已渗透到很多高新技术领域和产业,并开始取代或改造一些传统加工行业。激光制造技术包;含两方面内容,一是制造激光光源技术,二是利用激光作为工具制造技术。前者为制造业提供性能优良、稳定可靠激光器以及加工系统,后者;利用前者进行各种加工和制造,为激光系统不停发展提供辽阔应用空间。二者是激光制造技术中不可或缺步骤,不可偏废。激光制造技术含有许;多传统制造技术所没有优势,是一个符合可连续发展战略绿色制造技术。比如,材料浪费少,在大规模生产中制造成本低;依据生产流程进行编程;控制(自动化),在大规模制造中生产效率高;可靠近或到达“冷”加工状态,实现常规技术不能执行高精密制造;对加工对象适应性强,且不受;电磁干扰,对制造工具和生产环境要求低;噪声低,不产生任何有害射线与残剩,生产过程对环境污染小等等。所以,为适应21世纪高新技术;产业化、满足宏观与微观制造需要,研究和开发高性能光源势在必行。当前正在主动研制超紫外、超短脉冲、超大功率、高光束质量等特征激光;,尤其是能适应微制造技术要求激光光源更是倍受关注,并已形成国际性竞争。能够预言,激光制造技术必将以其无可替换优势成为21世纪快速;普及高新技术。1激光制造系统发展用于制造业中激光系统即激光制造系统,普通由激光器、激光传输系统、激光聚焦系统、控制系统、运动系统;、传感与检测系统组成,其关键为激光器。激光作为热源或光源(能量)是激光制造中“刀具”或“工具”。该“刀具”或“工具”质量直接影响;着加工制造结果。激光光束质量好坏能够采取光束远场发散角、光束聚焦特征参数值Kf和衍射极限倍因子M2(M)或光束传输因子K值来表示;。对小功率激光器,工作物质均匀稳定,普通能够实现基模输出,其光束横截面能量分布为高斯分布,且在传输过程中保持不变,光束质量很好;对于;大功率激光器,普通不易得到基模输出,输出往往为多模激光束,激光光束质量变差(如图1)。当前工业上常见大功率激光器有CO2激光器和;YAG激光器两种。大功率激光器工业应用领域很广,激光切割、激光焊接都需要优良光束质量,而追求高光束质量大功率激光是工业用激光器;不停发展目标。从1964年第一台CO2激光器出现到现在,经过近四十年发展,从封离式CO2激光器、慢速轴流CO2激光器、横流CO2;激光器,到高频罗兹泵型快速轴流、射频turbo型快速轴流以至当前出现扩散型SlabCO2激光器发展中能够看到,首先激光输出功率;不停提升,体积不停缩小,另首先激光器效率不停提升,光束质量越来越好。扩散型SlabCO2激光器光束横截面上光强分布靠近高斯分布(;如图2),含有极好光束质量,在加大激光加工工作区焦点漂移很小,非常有利于大范围激光传输与聚集,这对大尺寸工件切割应用非常主要;。工业用固体YAG激光器也经历了从小功率灯泵浦(棒状)、灯泵浦(板条)、双灯泵浦(多棒)到光纤泵浦(棒状)、半导体泵浦(棒状)和片状;固体激光器过程。因为受工作物质热物理性质制约,YAG激光光束质量模式相对较差。怎样提升光束质量和激光功率,仍是YAG激光器面临;主要问题。值得注意是多年来发展起来半导体激光器。半导体激光器含有小型化、频率极高、与光纤良好耦合、易于调制等优良特征,因而含有广;阔应用前景。要在不一样产业中广泛应用激光制造技术,很大程度上要依赖于激光加工系统性能与工艺。欧、美、日一些国家在新光源、加工系统及;工艺等方面研究与开发就从未降温过。伴随激光工作物质研究与开发、器件与单元技术改进和创新,以高性能、宽波段、大功率为特征激光取;得了蓬勃发展,如紫外光输出KrF、ArF准分子激光器、倍频激光器等。尤其是高功率光纤激光出现,使激光制造移动式定位加工变得更;加便利。2激光制造技术应用激光制造技术与传统制造技术相比,其突出优势主要表达在以下几个方面:(1)特种材料特殊要求加工激光焊接;与大多数传统焊接方法相比含有突出优点。激光能量高度集中和加热、冷却过程极其快速,可破坏一些难熔金属表面应
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