《芯片原理与技术》课件微流控芯片 - 2.pptxVIP

微 流 控 芯 片;微流控芯片简介 微流控芯片的制备 微流控芯片的流体控制 微流控芯片的检测 微流控芯片的应用; 微全分析系统 (MicroTAS, ?TAS) 通过化学分析设备的微型化与集成化，最大限度地把分析实验室的功能转移到便携的分析设备中，甚至集成到方寸大小的芯片上。最终目标是实现分析实验室的“个人化”、“家用化”。 ?TAS可分为芯片式与非芯片式两大类。芯片式是发展重点，即微流控芯片。 ; 是microTAS中当前热点，它最集中地体现了将分析实验室的功能转移到芯片上的思想，又称芯片实验室。 主要以分析化学和分析生物化学为基础，以微机电加工技术为依托，以微管道网络为结构特征，它把整个实验室的功能，包括采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等集成在微芯片上。 微流控芯片主要是在分析化学的学科领域发展起来的 ;微流控芯片与微阵列芯片的比较; 微流控芯片的优势;微流控芯片的结构特征;主要可分为三部分： 不同功能的微流控芯片 芯片微流体运行控制装置 信号采集的控制与检测装置; 微流控芯片材料;薄膜沉积：光刻前先在基片表面覆盖一 一层薄膜，薄膜的厚度为数?到 几十微米，这一工艺过程叫薄膜沉积。 光刻：在薄膜表面用甩胶机均匀地覆盖上一层光胶。将光刻掩模上微流控芯片设计图案通过曝光成像的原理转移到光胶层上的工艺过程称为光刻。 刻蚀：是将光胶层上的平面二维图形转移到薄膜上