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硅烷SiH4 危险性概述 爆炸危险：易燃， 暴露在空气中能自燃。 健康危害：吸入硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗，严重者面色苍白，脉搏微弱， 陷入半昏迷状态。脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，必要时进行人工呼吸，就医。 第六十二页，共九十一页。 消防措施 危险特性：易燃，遇明火、高热极易燃烧，暴露在空气中能自燃，与氟、氯等发生剧烈的化学反应。 灭火方法：切断气源，若不能立即切断气源，则不允许熄灭正在燃烧的气体，喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 灭火剂：二氧化碳。 硅烷SiH4 第六十三页，共九十一页。 泄漏应急处理 迅速撤离泄漏污染区，人员至上风处，并隔离至气体散去，切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般消防护服，切断气源，喷洒雾状水稀释、抽排(室内)或强力通风(室外)。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内，漏气容器不能再用，且要经过技术处理，以除去可能剩下的气体。 硅烷SiH4 第六十四页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 Process recipe has terminated with error state----Alarm ACK----(1)to store(2)to store enable unload(3)Restart recipe . 说明：进行中的工艺以错误的状态结束----警报确认----（1）储存（2）储存并卸下（3）重新开始工艺。 (1)用错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其它工艺时进行选择。 (2)多数情况下选择此项。； (3)工艺中断需要重新进行时选择，选择前应查看镀膜情况。 1 第三十页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 Boat already in tube----select: [ process=0 unload=1]. 说明：石墨舟已经在管内----选择[运行工艺=0 取出卸下=1]。 当管内有石墨舟时，异常排除后手动运行工艺时会出现这样的提示，查看镀膜情况后在做选择。 2 第三十一页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 Lost homing, check position. 说明：失去引导，检查位置。 此报警会自动解除，只需要检查一下桨是否在原点的位置即可。 3 第三十二页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 HFGen out of 1st(2nd) tolerance. 说明：高频发生器超过第一（二）个位置，如果在镀膜中退出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间后，选择手动工艺输入剩余时间。 通常出现这样的报警有三种情况： (1)石墨舟的电极孔放反。 (2)石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间。 (3)炉内的碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路。 4 第三十三页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 Recipe abort2----process abort! TO continue: enter AB. 说明：工艺推出----运行终止。继续输入AB。 对工艺异常确认输入AB后，会出现第（一）个报警 5 第三十四页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 Vacuum tube out of 1st(2nd) tolerance. 说明：石英管内的真空度超过第一（二）个限值。 系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警一起出现的话，联系工序长和领班。 6 第三十五页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 Boat sensor of grab has changed without permission. 说明：机械手上的传感器被非允许移动。 机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若这时前后的位置发生变化，机械臂将会被锁定，出现报警。此警报需要通知工序长或领班。 7 第三十六页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 Collective alert pump st.1 说明：真空泵报警。 一般情况下是由于真空泵的负压太大，导致报警。如复位无效的话通知工序长或领班。 8 第三十七页，共九十一页。 管式PECVD日常报警说明 Gas N2(SiH4、NH3)out of 1st(2nd) tolerance. 说明：特气氮气（硅烷、氨气）超过第一（二）个限值。 出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定（冷却水报警），都会出现这样的报警，出现超过第一个限值报警，