薄膜材料物理课件.pptxVIP

机械方法（涂上） 薄膜材料制备 物理方法（物理气相沉积PVD） 化学方法（化学气相沉积CVD）;范德华力为主;本征吸附能：第一个原子层与基体表面间的结合能。 内聚能: 吸附层数增多,相邻两层间的结合能→汽化 潜热。 物理吸附 范德华力 作用范围大(0.4nm) 化学吸附 化学键力 作用距离小(0.1~0.3nm);物理吸附：低温吸附，高温解吸附。 化学吸附：常温下很难解吸附，高温提供能解吸 附所需的活化能。 ②定量描述（吸附） 气相中一个原子的动能： 基体中一个原子的动能（热平衡）： 一般： 若碰撞，入射原子能快速交出多余能量，则易被 吸附，引入适应系数;③吸附原子在基片上的状态 重蒸发 基片表面上迁移 形成原子对或原子团;重蒸发：;在基片表面上的迁移速率;形成原子对 ;1、初始凝结 S∑＜1 重新蒸发掉，不凝结 1＜S∑＜2 部分凝结，部分再蒸发 S∑＞2 完全凝结 ; 因为每个吸附原子的捕获面积内，至少都有两 个吸附原子。因此，所有的吸附原子都能结合成对 成为更大的原子团，从而达到完全凝结。 ∴制膜工艺条件：;各种大小不等的原子团处于动态平衡，各种原子团的数量达到稳定值，所以：;薄膜材料与基片种类 决定最小稳定核=临界核 一般认为：玻璃上淀积金属 最小稳定核≈3~10个原子;§1.3 成核理论; 设基片表面有一个微滴如图，由热力学理论，形成这个微滴时，总自由能的变化为： ?G=a3r3gv+a1r2σ0+a2r2σ1-a2r2σ2 式中:gv-微滴单位体积所引起的自由能变（J/m3），其值为负。σ0、σ1、σ2是图中所示表面的表面能，形成表面所要外力做功，∴G↑;可见临界核最不稳定，只有 r r*→ ?G↓→才稳定; ;②成核速率 在单位面积，单位时间内产生的稳定核数量 —临界核长大速率 临界核长大,入射原子直接与临界核碰撞相结合(很少） 吸附原子做表面迁移→碰撞→结合（为主） 临界核长??稳定核的速率决定于： ①单位面积上的临界核数—临界核密度 ②每个临界核的捕获范围 ③所有吸附原子向临界核运动的总速度;①临界核密度 n0—单位面积上的吸附点数(1015/cm2) Z —色尔道维持修正因子， Z≈10-2 例如，Ag在NaCl上沉积， n* ≈1011/cm2 ②每个临界核的捕获范围为： ③每个吸附原子的表面迁移速度： ④在基片单位表面上吸附的原子数（原子密度）为：;所以成核速率：;第一章 薄膜的形成 第二讲;1924年,弗仑凯尔(Frenkel)提出成核理论原子模型 物理模型： ;结论：当原子团达到四原子以后，其结构有两种： 平面结构、角锥结构。 E2EP时→形成三角锥结构 2E2EP时→可能形成四角锥结构 E2EP时→形成平面结构 对于在金属基片上沉积金属，一般其临界核的体积大约为7个原子（不超过）。; 成核速率∝临界核密度×每个核的捕获范围×吸附 原子向临界核的总速度 ※由统计理论，临界核密度:;两种成核理论的对比： 微滴理论（毛细作用理论）—热力学—凝结论，适用于描述大的临界核，可用热力学参数. 原子理论—统计物理学—原子成核与生长模型，适用于描述小的临界核.;§1.4 凝结系数 凝结：吸附原子结合成对及其以后的过程. 凝结系数：; ;§1.5 薄膜的形成 薄膜的形成顺序：;①小岛阶段—成核和核长大 透射电镜观察：大小一致(2-3nm)的核突 然出现.平行基片平面的两维大于垂直方向 的第三维。 说明：核生长以吸附单体在基片表面的扩散， 不是由于气相原子的直接接触。;②结合阶段 两个圆形核结合时间小于0.1s,并且结合后增大了高度，减少了在基片