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- 2022-05-28 发布于四川
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刻蚀工艺介绍
辛小刚
刻蚀原理介绍
刻蚀主要工艺参数
刻蚀液更换频率的管控
刻蚀不良原因分析
刻蚀原理介绍
刻蚀是用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保护的 Metal/ITO膜通过化学反应去除掉，最终形成制程所需要的图形。
刻蚀种类
目前我司的刻蚀种类主要分两种：
1、Metal刻蚀
刻蚀液主要成分：磷酸、硝酸、醋酸、水。
Metal：合金金属
2、ITO刻蚀
刻蚀液主要成分：盐酸、硝酸、水。
ITO：氧化铟锡（混合物）
Metal刻蚀前后：
ITO刻蚀前后：
刻蚀前后对比照片
主要工艺参数
刻蚀液更换频率的管控
作业数量管控：
每天对生产数量及时记录，达到规定作业片数及时更换。
作业时间管控：
由于药液的挥发，所以如果在规定更换时间未达到相应的生产片数药液也需更换。
首片和抽检管控：
作业时需先进行首片确认，且在作业过程中每批次进行抽检（时间间隔约25min）。
刻蚀不良的产生原因
1、大面积刻蚀不干净：
-------刻蚀液浓度下降、刻蚀温度变化。
2、刻蚀不均匀：
-------喷淋流量异常、药液未及时冲洗干净等。
3、过刻蚀：
-------
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