探测装置和检测方法.pdfVIP

（19）中华人民共和国国家知识产权局 （12）发明专利申请 （10）申请公布号 CN101498764A （43）申请公布日 2009.08.05 （21）申请号CN200910006019.6 （22）申请日2009.01.22 （71）申请人东京毅力科创株式会社 地址 日本国东京都 （72）发明人矢野和哉;下山宽志;铃木胜 （74）专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司 代理人龙淳 （51）Int.CI G01R31/28; G01B11/00; 权利要求说明书 说明书 幅图 （54）发明名称 探测装置和检测方法 （57）摘要 本发明提供一种探测装置和检