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HL5500PC霍尔效应测试系统 仪器简介： ACCENT HL5500PC型Hall 效应测试系统由主机，霍尔系统控制器和温度控制器等部分组成，能实现半导体及其薄膜材料的电学特性测试，可测试高达100G欧姆的高阻材料，同时通过液氮冷却系统可达到对材料的变温测量。具有测试速度快，数据准确的特点。可应用于各种半导体及其薄膜材料的载流子浓度，电阻率，载流子迁移率及霍尔系数等电学性能的常温或变温测试。 主要技术指标： 1．最大测量电阻值：100Gohm/sq； 2．测试台温度选项：常温，77K（已坏）； 3. 磁场：3200高斯； 4. 样品电流：0.1μA-19.9mA 5. 测试样品最大尺寸：φ=25mm。 测试原理： 采用Van der Pauw方法电阻率测试的原理如图1所示。先在样品1、2两个电极上加上电流，测试3、4两个电极上的电压，然后在2、3两个电极上加上电流，测试1、4两个电极上的电压，再根据(1)式计算样品的电阻率，其中t为样品的厚度，F为对称因子，Q为修正因子。面电阻系数根据（2）式算出。 图 图1电阻率的测试原理示意图 （1） （2） 图 图2 霍尔系数测试原理示意图 霍尔系数的测试的原理图如2所示。在垂直于样品的方向分别加上正交的恒定电场与磁场，在样品的其中两个电极上加上电流，由于霍尔效应，在另外两个电极上就会产生霍尔电压，测量霍尔电压便可计算出样品的霍尔系数。 （3） 由（3）式计算出载流子的速率，代入（4）式计算出电流， （4） （5） 将代入（5）式就可计算出样品的霍尔系数。其中E为电场强度， B为磁场强度，v为载流子的速率，q为电子或空穴的基本电荷，N为载流子浓度。面霍尔系数根据（6）式算出。 （6） 面载流子浓度、体载流子浓度、霍尔迁移率分别根据（7）式、（8）式和（9）式计算。 （7） （8） （9） 操作规程 开机预热 先开电脑，再开仪器，仪器预热2-3分钟（只需打开测试控制器，不打开温度控制器），然后打开桌面上软件快捷方式“Hall”。 二．输入样品信息 设置样品存储路径，File-Set path，然后依次点选菜单中File-Sample-Identifiers，Material，Geometry，Log File。其中Identifiers和Material可任意填；Geometry中选中“Van der Pauw”并输入厚度Thickness的数值；Log File中全选。 三．放样并检查欧姆接触 用镊子小心将样品放在样品台上，使四个探针与样品的四个顶角或电极充分接触（四个探针尽量对称）。首先输入电流和目标电压：点选“configure-measurement current”，输入电流（0.1μA-19.9mA）和目标电压Target Vr（4-200mA）中合适的值，然后Measure-Check Contacts（F5键），IV Curve（F6键）。若出现的6个ohms值相差不大，并且出现的V-I曲线呈现良好的线性关系，则说明欧姆接触良好，可以进行测试。设置configure-Delay/Averaging，Scattering等参数。 四．测试 按键F7、F8分别测试电阻率和Hall系数。按F7出现电阻率测试框，调节四个探针使得Factor为1，Sym为1-1.05之间。 五．结果保存和关机 测试完成保存结果后，先取出样品，再关闭软件，然后关闭仪器及电脑，最后切断电源。