主要企业IBC电池工艺流程对比.docx

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1IBC:普乐新能源/苏州腾晖 1 图:IBC电池示意图 ? 以左图为例,10-硅基底,101-正面前场,102-钝化层,103-多晶硅薄膜,104-多晶硅薄膜,105-硅基底,106-钝化层,107-铝电极 (“背面”电极),108银电极(“正面”电极)。 图:IBC电池工艺流程图 硅片 清洗制绒 硅片 清洗制绒 硅基底(10 硅基底 (10) 生成正面 前场 背面沉积隧穿氧化硅层和多晶硅薄膜(103)多晶硅薄膜- 背面沉积隧穿氧化硅层和多晶硅薄膜(103) 多晶硅薄膜-磷掺杂-N型多晶硅薄膜 激光刻蚀 激光刻蚀-去除部分多晶硅薄膜,露出P型硅基底(105及右侧同区域) 去除正面 去除正面B

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