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1IBC:普乐新能源/苏州腾晖
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图:IBC电池示意图 ? 以左图为例,10-硅基底,101-正面前场,102-钝化层,103-多晶硅薄膜,104-多晶硅薄膜,105-硅基底,106-钝化层,107-铝电极
(“背面”电极),108银电极(“正面”电极)。
图:IBC电池工艺流程图
硅片 清洗制绒
硅片
清洗制绒
硅基底(10
硅基底
(10)
生成正面
前场
背面沉积隧穿氧化硅层和多晶硅薄膜(103)多晶硅薄膜-
背面沉积隧穿氧化硅层和多晶硅薄膜(103)
多晶硅薄膜-磷掺杂-N型多晶硅薄膜
激光刻蚀
激光刻蚀-去除部分多晶硅薄膜,露出P型硅基底(105及右侧同区域)
去除正面
去除正面B
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