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单晶炉真空系统的除尘技术 真空技术在冶金、化工、轻工、食品、医药等领域得到了十分广泛的应用，然而在这些领域大都存在尘埃对真空系统的危害问题。为保护真空系统或真空泵不受粉尘和固体颗粒污染和损坏，管路中需配置真空除尘器和真空过滤器。它们可保护真空阀门不被阻塞，防止阀板关闭不严造成漏气，保护测量压力的真空规管不受污损，防止泵受损而工作失常等，对真空设备的净化和平稳、持续工作均很重要。 一、除尘机理及过程  从气体中捕集分离粒子的除尘机理，主要有以下几个方面:  1、重力  气流中的尘粒可以依靠重力自然沉降，从气流中开展分离。由于尘粒的沉降速度一般较小，这个机理只适用于粗大的尘粒。  2、离心力  利用机械力来捕集分离含尘气流中的粉尘，离心力除尘装置是其中最有效的除尘装置。它对粒径较小尘粒的分离捕集非常有效。含尘气流作圆周运动时，由于惯性离心力的作用，尘粒和气流会产生相对运动，使尘粒从气流中分离。  3、惯性碰撞和接触阻留  含尘气流在运动过程中遇到物体的阻挡(如挡板、纤维、水滴等) 时，气流要改变方向开展绕流，细小的尘粒会随气流一起流动。粗大的尘粒具有较大的惯性,它会脱离流线，保持自身的惯性运动，这样尘粒就和物体发生了惯性碰撞而脱离气流(见图1)。细小的尘粒随气流一起绕流时，如果流线紧靠物体(纤维或液滴) 表面，有些尘粒因与物体发生接触而被阻留,这种现象称为接触阻留。另外当尘粒尺寸大于纤维网眼而被阻留时，这种现象称为筛滤作用。  图1除尘机理示意图  4、布朗扩散  当含尘气流中的粉尘颗粒粒径小于1Lm 以下,特别小于0.1Lm 时，这些颗粒在随气流运动时就不再沿着气体流线绕流捕集物，因而也就再不能遵循惯性碰撞或接触阻留的机理被捕集物所捕集分离，而另一捕集机理——扩散在起作用。由于气体分子之间的热运动而产生的不规则运动，使气体分子之间的热运动而产生的不规则运动，使气体分子轰击着粉尘颗粒而使颗粒作布朗扩散，可以使粉尘颗粒均匀地分布于整个气体空间。真空技术网(http:///)认为如果有一物体置于气体之中，一些超微颗粒就通过布朗扩散而沉降在这物体的表面上，从而使这些超微颗粒从气体中捕集分离。  5、静电力  悬浮在气流中的尘粒，如带有一定的电荷，可以通过静电力使它从气流中分离。由于自然状态下，尘粒的荷电量很小，因此，要得到较好的除尘效果，必须设置专门的高压电场，使所有的尘粒都充分荷电。  6、凝聚  凝聚作用不是一种直接的除尘机理。通过超声波、蒸汽凝结、加湿等凝聚作用，可以使微小粒子凝聚增大，然后再用一般的除尘方法去除。  我们设计除尘器时要根据不同的具体情况，考虑一定的需要，采用某种除尘机理或者是几种除尘机理的综合运用。表1 列出几种除尘机理的除尘情况供为参考。  表1Table 1  为便于分析研究起见，将整个除尘过程分为有联系而又有区别的如下三个过程。  (1) 捕集分离过程  该过程可分为捕集推移阶段和分离阶段。  ① 捕集推移阶段均匀混合或悬浮在气体中的粉尘进入除尘器的除尘空间，根据不同的除尘器类型经受不同的外力作用，将粉尘推移到分离界面。随着粉尘向分离界面推移，浓度也越来越大，故捕集推移阶段实质也是粉尘浓缩的阶段。  ② 分离阶段高浓度的尘流向分离界面以后，有两种机理在起作用：气体运载粉尘的能力将到达极限状态，悬浮与沉降这对矛盾中，沉降成为主要方面，通过沉降，粉尘从气体中分离出来。极限状态的影响因素一般与气流速度及边壁的边界条件有关。而边壁的边界层又是主要影响因素。另一机理是高浓度尘流中粉尘颗粒的扩散与凝聚这对矛盾中凝聚成为主要矛盾方面。粉尘颗粒可以彼此凝聚在一起。又可能与实质界面凝聚而吸附在其上面。通过这两个机理，最后粉尘从气体中分离出来。  (2) 排尘过程  排尘过程主要是经分离界面以后已分离出来的粉尘排离排尘口，不同的除尘器排尘的作用力也不同。有些除尘器不需要再加额外动力就能利用原捕集分离的外力把粉尘排离除尘器。而另一些除尘器则需要加额外的动力才能把已分离的粉尘排出。  (3) 排气过程  已弃尘后相对净化的气流从排气口排出的过程称为排气过程。上述基本知识是除尘器、过滤器设计制造的理论根底。下面具体讨论单晶炉领域除尘技术。 二、单晶炉真空系统的除尘技术  单晶炉是单晶体生长设备。单晶体生长要求在真空和惰性气体中开展。真空装置应能保证炉体内热真空度达5×1024mm 汞柱以上。如果使用惰性气体作保护气氛，炉体上、下都设有进出气的气口。生长单晶体时，抽真空及真空装置注入惰性气体后都需配备除尘装置。