电容式MEMS惯性线加速度传感器.pdfVIP

一种电容式MEMS惯性线加速度传感器的设计 1 MEMS 加速度传感器 微加速度传感器是在90 年代中期开始广泛用于汽车的安全气囊、振动补偿 和防滑系统等方面，用于提高汽车的可操纵性，安全性和舒适性。目前汽车上应 用的MEMS 传感器主要有气囊加速度传感器，轮速旋转传感器，胎压传感器， 制冷压力传感器，发动机油压传感器，刹车压力传感器和偏离速率传感器等。在 今后的几年中MEMS 加速度传感器将大量地应用到汽车中。 1.1 MEMS 加速度传感器的分类 1、压阻式 压阻式加速度传感器是最早开发的硅微加速度传感器，1979 就有相关方面 的报道。利用加速度的改变就会导致其上面扩散电阻的阻值发生改变，从而有不 同的电压输出，反映了此时加速度的大小。压阻式传感器的优点在于它直接输出 电压信号，不需要复杂的电路接口。缺点是温度漂移较大，对安装和其它的应力 也很敏感，而且使用温度有限制。 2、压电式 它利用压电晶体、聚合物薄膜或压电陶瓷等对压力敏感的材料，采用与压阻 式加速度传感器类似的结构，由压电材料替代压阻材料去敏感加速度的变化。但 因为这类材料的漏电流效应和热电效应的影响，这类器件一般无法测量静态加速 度的大小。另外造价很高也是其不足之处。 3、谐振式 此类加速度传感器上有一个微