Verigy93000中直流参数的并行测试方法.docx

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PAGE 1 PAGE 1 Verigy93000中直流参数的并行测试方法 摘要:本文阐述了一种在Verigy 93000 上进行直流参数测试的测试方法,并与传统方法进行了比较分析,结果表明该方法在测试中能完全并行使用硬件资源,使测试时间有效降低。 1 引言 在当前SoC 快速进展及半导体行业激烈竞争的阶段,提高测试效率、降低测试成本,是从业者需要思索和解决的课题。 Verigy 93000 是单一平台的可升级测试系统,它是满意SoC 技术全面集成需要的芯片测试系统解决方案。 本论文阐述一种测试方法使得Verigy 93000 进行直流参数测试时独立并行使用硬件资源,从而节约测试时间,提高测试效率。 2 Verigy 93000 用于DC测试的硬件资源 2.1 PMU(parameter measure unit,参数测量单元) PMU 是Verigy 93000 进行DC 测试常用的硬件资源(如图1 所示)。当前应用广泛的Pinscale测试系统中的PMU 有两种, 一种称为PPMU(Per- Pin PMU),包含在每个数字通道内。依据测试系统的配置结构,大头可以达到2048 个,小头1024个;另一种HPPMU (High Precision PMU,高精度PMU),每个Group 中一个,大头有8 个,小头结构就只有4 个。因此在测试中,只要PPMU 的参数范围和精度满意芯片需求,我们尽可能使用PPMU,并通过合适的编程方法做到硬件资源完全并行使用,加快测试速度。 图1 93000 的PMU 资源 2.2 Verigy 93000 的DPS (DevicePower Supply,芯片供电电源)资源 Verigy 93000 中每块DPS 板卡可以供应8 路电源通道,电源通道除了给芯片供应电源外,还具有加电压测电流的功能,这通常用于芯片的功耗测试。 本文不就此类测试绽开争论。 3 PPMU 资源完全并行使用的测试方法 PPMU 是Verigy 93000 中每一个数字通道都有的硬件资源,它具有加电压测电流(VFIM)和加电流测电压(IFVM)两种功能。应用这两种功能进行DC 测试,通常有两种实现方法。 1) 传统方法:通过调用PPMU 相应的API(可编程应用接口) PMU_VFIM (加电压测电流)和PMU_IFVM(加电流测电压)来实现。但应用这种方法进行测试时,假如不同的管脚需要不同的测试条件,测试时每个管脚是串行执行的,这样机台per- pin 的PMU 资源的优势就没有得到发挥,测试时间会相应增加。 2) Flex DC 测试方式:可以做到使用PPMU 测试不同条件的PIN 时完全独立,互不影响。因此,在使用PMU 进行DC 测试时,为了提高测试效率,增加产出,在测试条件允许的状况下,测试者尽可能采纳这种方法。 两种方法的比较如表1 所示。 表1 两种DC 测试方法的比较 3.1 Flex DC 编程方式的详细实现 Flex DC 测试方法在程序中通过PPMU_SETTING、PPMU_RELAY、PPMU_MEASURE以及TASK_LIST 创建任务列表的方法来实现。此时,我们需要把不同测试条件的PIN 对应的PPMU的工作模式及条件范围、RELAY 的状态、测试结果的猎取分别设定为相同的SETTING、RELAY 和MEASURE 中,然后把上述设定添加到同一个任务列表中。这样, 对于上述SETTING、RELAY 和MEASURE 中的不同pin 包含的动作,机台在执行测试的过程中是完全独立并行的,可以做到资源的利用。 以2 个pin 为例,pin1 测试中需施加5 V 电压测电流,pin2 要施加2.5 V 电压测电流,Flex DC 的代码如下: PPMU_SETTING set1; PPMU_RELAY relay1; PPMU_MEASURE measure1; TASK_LIST task1; set1. pin( pin1 )。 vForce( 5 V)。iRange( 40mA)。min( 0 mA)。max( 50 mA); set1.pin( pin2 )。vForce( 2.5 V)。iRange( 40mA)。min( 0 mA)。max( 40 mA); relay1.pin(pin1, pin2)。status(“PPMU_ON”); measure1.pi

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