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【Word版本下载可任意编辑】 PAGE 1 - / NUMPAGES 1 MEMS技术及其应用详解 MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。 MEMS是什么？  微机电系统 就是其中一个。DMD是TIDLP? 技术的，它广泛应用于商用或教学用投影机单元以及数字影院中。每16平方微米微镜使用其与其下的CMOS存储单元之间的电势开展静电致动。灰度图像是由脉冲宽度调制的反射镜的开启和关闭状态之间产生的。颜色通过使用三芯片方案（每一基色对应一个芯片），或通过一个单芯片以及一个色环或RGB LED光源来参加。采用后者技术的设计通过色环的旋转与DLP芯片同步，以连续快速的方式显示每种颜色，让观众看到一个完整光谱的图像。 或许MEMS技术的一个有趣特性是设计师得以展示在如此小规模的物理域中开掘物理独特性的能力——这一主题随后将再次谈及。  图2：简化的MEMS加速度计 MEMS的应用  基于各种原因，许多MEMS产品在商业上取得了巨大成功，其中许多器件已经获得广泛应用。汽车工业是MEMS技术的主要驱动力之一。例如MEMS振动构造陀螺仪，是一款新的相当便宜的设备，目前用于汽车防滑或电子稳定控制系统