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MEMS工艺制造的阀芯阀座密封副的压电阀门 为了提高压电阀门的流量和动态性能，使其适用于微推进系统，本文研究了一种基于MEMS工艺制造的阀芯阀座密封副的压电阀门.采用MEMS工艺制作了硅片阀芯阀座，使阀门整体构造简单紧凑，获得了良好的密封效果(在阀门入口气压为1MPa的情况下泄漏率小于0.001mL/min)，并使阀门到达了较大的流量.在入口气压大于0.4 MPa，压电堆所施加的电压为200V时，阀门流量均超过3000mL/min，满足微推进系统的要求，防止了位移放大机构.在阀门的驱动部分，设计了一种新型的柔性铰链机构，其中的“T”形架实现了阀门的常闭功能，“双弹簧”构造实现了对密封副和压电堆的同时预紧，保证了阀门具备较好的动态性能。  压电堆驱动器具有控制精度高、位移与电压线性化程度好、响应快、输出力大以及功耗低等优点，适合用作微小型航天器上微推进系统中控制主阀的驱动。然而压电堆驱动器的输出位移很小，一般只有其长度的0.1%，选取满足体积要求的压电堆并采用其直接驱动时，阀芯的行程短，流量小(小于1500mL/min)，不能满足微推进系统的要求(最大流量需到达3000mL/min)。为增大流量，压电阀门常采用位移放大机构;但位移放大机构的复杂性高，会减小压电堆的输出力，降低其响应频率和控制精度，不利于阀门的密封和动态性能。  在阀门的阀芯阀座处采用硬密封的方