MEMS技术的热对流式双轴加速度传感器.docxVIP

【Word版本下载可任意编辑】 PAGE 1 - / NUMPAGES 1 MEMS技术的热对流式双轴加速度传感器 消费电子、通信电子产品,如手机、数码相机、数码摄像机、PDA、MP3、PMP、P-DVD、DC、DV、NB、NetBook等必须具备一定的抗冲击或抗跌落能力。这些产品的制造商要求其整机必须能通过1.2米或1.3米的自由跌落测试,从1.2米自由跌落至***石地面将对整机产生大约50,000g的冲击力。如果除去外壳和印刷电路板的缓冲作用,施加到加速度计上的冲击加速度也将超过5,000g。为了抵御这种冲击,制造商要求产品设计师在产品中设计缓冲系统,并采用加速度 传感器 在时间获取跌落信息,同时在时间将怕震电子器件的 电源 关闭,并予以保护,如高速旋转的硬盘、光碟、录像带等均可使它们能够快速地进入暂停状态。为此,双轴热对流式加速度传感器则是理想的可用器件之一。  热对流式双轴加速度传感器 是以虚拟的、悬浮于空中的“热气团”作为重力块。在微机械构造上没有可活动的部分,其独特的“桥式”构造牢牢地固定在硅芯片上,而使其能够抵御大于50000g的冲击。  热对流式加速度传感器 是采用MEMS技术,基于单片CMOS集成电路的制造工艺而生产出来的一个完整的加速度测量系统,就像其它加速度传感器一样有重力块(质量块)。热对流式加速度传感器是以可移动