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电阻式传感器原理与应用 2 3 测量电路 4 金属电阻应变片的结构 (a)丝式(b)箔式 电阻应变式传感器工作原理 1)金属电阻应变片 5 1)金属电阻应变片 假设一根长度为L横截面积为A电阻率为ρ，则电阻R为 当受到应变作用，L、A和ρ都会发生变化，使得R产生的相对变化为 设金属的截面半径为r,则有 6 根据材料力学理论，对于受拉压得圆杆有 其中：ε---所承受的应变 μ---材料的泊松比 σ---轴向应力 λ---材料的压阻系数 E---材料的弹性模量 带入原式有 体型半导体应变片的结构 1—引线；2—半导体片；3—基片 2)半导体应变片 8 薄膜型半导体应变片的结构 1—锗膜；2—绝缘层；3—金属箔基底； 4—引线 扩散型半导体应变片的结构 1—N型硅；2—P型硅扩散层； 3—二氧化硅绝缘层；4—铝电极；5—引线 测量电路 直流电桥电路 (1)平衡条件 直流电桥电路 10 当R 无限大时，电桥有输出电压 L 如果R 为应变片电阻，初始时应变片未受应变，电桥处于平衡状态 1 此时U =0 电桥处于平衡条件 0 当电桥R 承受应变产生∆R 的变化时，输出电压为 1 1 假设 略去分母中微量 则有 非线性误差的补偿方法 减少和消除非线性误差的方法，有如下几种： （1）采用差动电桥 （2）提高桥臂比