检测与传感技术：第07章 光电式传感器.pptVIP

光通量：=光效和功率 * 除真空光电管外，还有一种充气光电管，他的结构和真空光电管基本相同，所不同的仅仅是在玻璃泡内充以少量的惰性气体，如氩或氖。当光电极被光照射而发射电子时，光电子在趋向阳极途中将撞击惰性气体的原子，使其电离，从而使阳极电流急速增加，提高了光电管的灵敏度。 * Metal Oxide Semiconductor * 从半导体的原理可知,当在金属电极上施加一正电压时，在电场的作用下，电极下面的P型硅区里的空穴将被赶尽，从而在表面附近形成一个带负电荷的耗尽区。也就是说，对带负电的电子而言，这个耗尽区是一个势能很低的区域，成为电子的势阱，简称为“势阱”，这是蓄积电荷的场所。表面势阱的深度，近似地与极板上所加的电压成正比。 * 第八章 光电式传感器 测量原理：利用多数半导体的能带随温度的升高而减小的特性。材料吸收波长随温度增加而向长波方向移动，可以使透射过半导体材料的光强随温度而改变，达到测温的目的。 第八章 光电式传感器 光纤液位传感器 原理：基于全内反射理论 当测头没有接触液面（处于空气中）时，光线在探头内发生全内反射，而返回到光电二极管；当测头接触液面，由于液体与空气折射率不相同，所以全内反射被破坏，将有部分光线投入液体，使返回光电二极管的光强变弱。返回光强是液体折射率的函数。返回光强发生突变时，测头已接触到液位。 第八章 光电式传感器 圆锥测头 U型测头 同时可以测定不同折射率的液体和同一种溶液的不同浓度。 第八章 光电式传感器 反射光强调制型光纤传感应用 P ? + － 放大滤波 20 40 60 80 100 20 40 60 80 100 膜片振动?m 反射光强% 第八章 光电式传感器 光纤速度、加速度传感器 原理：一定质量的物体在加速度作用下产生惯性力，这种惯性力可以转变为位移、转角或形变等变量。通过对这些变量的测量，就可以得到加速度数值。 第八章 光电式传感器 光纤传感器优缺点 优点：功能强，且光纤本身是敏感器件； 抗电磁干扰，安全。 缺点：技术难度大、结构复杂、调整困难。 第八章 光电式传感器 四、产品 压力 应力 温度 第八章 光电式传感器 温度、应变仪 分析仪 网络分析仪 第八章 光电式传感器 光栅定义：在玻璃（或金属）上进行刻划，可得到一系列密集刻线，这种具有周期性的刻线分布的光学元件称为光栅。 特点：1）精度高；2）大量程测量兼有高分辨力；3）可实现动态测量；4）具有较强的抗干扰能力。 测量领域：主要是几何量（线位移和角位移）测量。其它包括振动、速度、应力、应变等。 （如数控机床上的线位移和角位移量，用来进行自动控制） §7-4 光栅式传感器 第八章 光电式传感器 第八章 光电式传感器 一、光栅的类型和结构 计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅。 尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 （与移动部件固定） 扫描头安装孔 可移动电缆 光栅的外形及结构 防尘保护罩的内部为长磁栅 第八章 光电式传感器 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 可移动电缆 光栅的外形及结构（续） 第八章 光电式传感器 反射式光栅 第八章 光电式传感器 透射式光栅 第八章 光电式传感器 透射式圆光栅 固定 第八章 光电式传感器 1、定义 二、莫尔条纹 θ B a a b b W 第八章 光电式传感器 在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线保持很小的夹角θ。在两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形成亮带；在两光栅刻线的错开处，由于相互挡光作用而形成暗带。 2、 莫尔条纹宽度B 第八章 光电式传感器 横向莫尔条纹的斜率 莫尔条纹宽度 莫尔条纹的宽度B由 光栅常数与光栅夹角决定 莫尔条纹演示 第八章 光电式传感器 3、莫尔条纹的特点 光学放大作用：由上式可知，虽然光栅常数W很小，但只要调整夹角θ，即可得到很大的莫尔条纹的宽度B，起了放大作用。 放大倍数： 光学概念上的每毫米刻线要刻很多条，由于栅距很小，不易观察，但形成的莫尔条纹却清晰可见。 ？某光栅每毫米刻线100条，光学放大倍数为1000，当光栅移动一个栅距时，就移动一个莫尔条纹，问产生的莫尔条纹有多宽？ 第八章 光电式传感器 10mm 答案 均衡误差作用 由大量栅线共同形成的莫尔条纹对光栅栅线的刻线误差有均衡作用，提高了测量精度。 连续变倍作用 光栅的栅距是固定的，不同的倾斜角θ将可获得相应宽度的莫尔条纹