薄膜制备与分析课堂讲稿.pptxVIP

薄膜制备与分析课堂讲稿;(个/米3); ② 赫兹-努曾方程:; ③ 气体分子碰壁数率N公式;证明如下:;真空压强单位：;应用1：;应用2：;第二讲 真空获得与真空测量;①机械泵的工作原理;②扩散泵的工作原理;③分子泵的工作原理;④离子泵的工作原理;2、真空测量;热电偶工作原理： 任何两根不同的金属如镍-康铜、铜-康铜、铂-铂 铑等，当其两个接头的温度不同时，出现温差电动势：;①热电偶规管的工作原理;粗真空下:l自由程 r1管半经→Q3 起主导作用;②电离真空规管的工作原理;(电离规管的特征方程);薄膜制备实验分组;薄膜制备 第三讲;1、蒸发镀膜 ;推导如下:;关于l摩尔的气体有 RT=PV,再考虑到 VgVl 有:;讨论：;⑵ 两种或两种以上物质蒸发的饱和蒸汽压Pv ;三元化合物的熔点为：;⑶ 蒸发粒子的速率和能量;⑷ 蒸发速率;⑸ 沉积速率; 但实际上并不是百分之百地凝结成膜，总有一部分原子或分子会产生解吸。因此，存在一个凝结系数α即：;⑹ 蒸发手段;溅射制备薄膜 第四讲; 冷阴极发射出的电子其能量仅1、0eV,不足以激活 气体,因此,形成阿斯顿暗区;; 电子加速过快,仅能电离部分气体分子,不能激活 气体分子,因而是暗区,称其为法拉第暗区,同时暗 区较长,经过较长的法拉第暗区,电子又慢下来;;;溅射参数:溅射率,溅射阀,溅射粒子速度和能量