光电式光栅改.pptxVIP

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  • 2022-07-27 发布于上海
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光电式光栅改会计学abab第1页/共9页 2、光栅测量原理 把两块栅距相等的光栅(光栅1、光栅2)叠合在一起,中间留有很小的间隙,并使两者的栅线之间形成一个很小的夹角θ,这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹,这些条纹叫莫尔条纹。在a-a线上,两块光栅的栅线重合,透光面积最大,形成亮带;在b-b线上,两块光栅的栅线错开,形成条纹的暗带。abab第2页/共9页 莫尔条纹测位移具有以下三个方面的特点。 (1) 位移的放大作用 当光栅每移动一个栅距W时, 莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度B,如果光栅作反向移动,条纹移动方向也相反。莫尔条纹间距B与栅线夹角θ之间的关系为 第3页/共9页 θ越小,B越大,这相当于把栅距W放大了1/θ倍。说明光栅具有位移放大作用, 从而提高了测量的灵敏度。 (2) 莫尔条纹移动方向 如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时,莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动;反之,当光栅1向左移动时,莫尔条纹沿着光栅2的栅线向下移动。 因此根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1的运动进行辨向。 (3) 误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成,对线纹的刻划误差有平均抵消作用,能在很大程度上消除短周期误差的影响。 第4页/共9页二、光栅传感器的组成  由标尺光栅(主光栅) 、指示光栅、光路系统和光电元件等组成。标尺光栅的有效长度即为测量范围。指示光栅比

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