环境扫描电子显微镜介绍.ppt

随着气压的增加，电子束逐渐展宽？ 将电子束划分为两部分： 未散射的电子 散射的电子 仍保持原来的轨迹，聚焦在样品表面 散射后电子改变运动轨迹，使电子束有一定程度的展宽 电子束的束斑尺寸由散射的电子使束斑展宽的程度决定，电子束的束流为散射的电子、未散射的电子的总和。 第三十一页，共八十页。 未散射电子与散射电子的强度比决定了散射对图像质量的影响程度。 第三十二页，共八十页。 既使在部分散射区图像的分辨率仍由未散射的束电子部分决定，而散射的束电子部分只是背底噪音，并由此引起束流的降低。 实际上，电子束几乎没有展宽，只是束流损失。 第三十三页，共八十页。 第三十四页，共八十页。 第三十五页，共八十页。 gas gas gas gas gas gas gas gas gas - - gas - - - - + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - - - - + + A V Vout + - - - - - - 二、 气体的作用 第三十六页，共八十页。 入射电子束与样品相互作用产生的二次电子逸出样品表面，在环境二次电子探测器所加的几百伏正电压的作用下加速向上运动；这些加速运动的二次电子与气体分子碰撞，使其电离，产生正离子和电子（称为环境二次电子）；这个电子加速和气体电离过程反复进行，导致原始二次电子信号的成比例的级联放大。而受样品表面荷电吸引向下运动的正离子可以消除荷电。 第三十七页，共八十页。 第三十八页，共八十页。 环境二次电子探测器 ESD 气体二次电子探测器 GSED 三、二次电子探测器 第三十九页，共八十页。 环境二次电子探测器： 直径大约1cm的圆锥； 放在物镜极靴的底部，与电子束同心，通过物镜、压差光阑的电子束，再穿过环境二次电子探测器到达样品； 在环境二次电子探测器上加有几百伏的正电压，以吸引样品表面逸出的二次电子。 第四十页，共八十页。 气体二次电子探头(GSED) 安装有探测器的印制电路板 能够很好地区别 SE-I、SE-II 和 SE-III 、 BSE 环境条件下真实的二次电子成象 样品室压力范围: 1-10 (20) Torr 观察视场: 125x 以上 低束流下良好的灵敏度 对光和热不敏感 清洗方便 第四十一页，共八十页。 新型气体二次电子探头 LF GSED LF GSED: Large Field GSED 低真空操作条件下的GSED 样品室压力范围: 0.1-1 Torr 观察视场不受限制 能够良好地区分 SE/BSE 电镜可同时进行二次电子/ 背散射电子观察 第四十二页，共八十页。 ESD探测器成像 GSED探测器成像 GSED探测器能有效的鉴别背散射电子及Ⅲ型二次电子，防止它们进入探测器环，明显的提高了二次电子像的质量和分辨率。 第四十三页，共八十页。 FEG ESEM LaB6 ESEM FEG SEM LaB6 LV-CSEM 第四十四页，共八十页。 四、X射线能谱分析： 在ESEM中可以直接观察分析不导电样品：1) 避免了因覆盖导电层引起的对样品中产生的X射线的吸收；2) 可以用高电压观察分析，避免了因降低电压而不得不用复杂的L线系、M线系分析。 第四十五页，共八十页。 第四十六页，共八十页。 电子束同时也激发样品室中的气体产生气体元素的特征X射线。 减小影响的方法： 减小气体压力； 减小电子束在气体中运动的距离（BGPL） 避免使用含有与所需分析的元素相同的气体。 第四十七页，共八十页。 ESEM 应用实例 第四十八页，共八十页。 人体组织 Bone Muscle 第四十九页，共八十页。 动植物表面 小白鼠耳背皮肤表面 冬青叶表面 第五十页，共八十页。 昆虫(活体) 第五十一页，共八十页。 牙膏 Bad quality Good Quality 第五十二页，共八十页。 微生物 小麦白粉菌 甲藻 第五十三页，共八十页。 3.6 Torr 4.1 Torr 5.3 Torr 5.8 Torr 5.9 Torr 5.6 Torr NaCl溶解-结晶过程 第五十四页，共八十页。 加热台 第五十五页，共八十页。 第五十六页，共八十页。 第五十七页，共八十页。 第五十八页，共八十页。 环境扫描电子显微镜 Environment Scanning Electron Microscopy ESEM 第一页，共八十页。 能在一台扫描电镜中解决所有问题的电镜 高真空 低真空 环扫模式 第二页，共八十页。 High Vacuum Pressure increas