半导体芯片制造技术综述.pptVIP

. 第二章 多晶半导体的制备 硅是极为常见的一种元素，然而它极少以单质的形式在自然界出现，而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式，广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中。硅在地壳中是第二丰富的元素，构成地壳总质量的25.7%，占地壳的四分之一，仅次于第一位的氧（49.4%）。 * . 第一节 工业硅的生产 一、硅的简介 1．物理性质 硅包括晶态和无定形两种同素异形体，晶体硅为灰黑色，无定形硅为黑色。晶体硅根据晶面取向不同又分为单晶硅和多晶硅，它们都具有金刚石晶格，硬而有金属光泽，有半导体性质。晶体硅密度2.32-2.34克／立方厘米，熔点1410℃，沸点2355℃。 * . 2．多晶硅按纯度分类 多晶硅按纯度分类可以分为冶金级多晶硅（工 业硅）、太阳能级多晶硅、电子级多晶硅。 （1）冶金级多晶硅（MG） （2）太阳能级多晶硅 (SG) （3）电子级多晶硅（EG） * . 二、工业硅的制备 1．工业硅的生产原理 SiO2 + C → Si + CO 2．工业硅的生产设备 工业硅的生产主要采用电弧炉，电弧炉又称矿热炉。它主要用于还原冶炼矿石，碳质还原剂及溶剂等原料，主要生产铁硅系合金。 * . 第二节 三氯氢硅还原制备高纯硅 一、原料的制备 1.硅粉的制备 2.氢气的制备和净化 氢气在多晶硅厂中一般是通过水解法生产。