气敏和湿敏传感器课件.pptxVIP

自动检测技术第三章新型传感器第一节 气敏传感器气敏传感器的定义：是能够感知环境中某种气体及其浓度的一种敏感器件，它将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的强弱便可获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息。 气敏传感器可分为半导体气敏传感器、固体电解质气敏传感器、浓差电池型气敏传感器和组合式气敏传感器，其中使用最多是半导体气敏传感器。自动检测技术一 、半导体式气敏传感器的结构及工作原理半导体式气敏传感器：利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者浓度半导体式气敏传感器可分为：电阻式非电阻式自动检测技术烧结型 电阻式 薄膜型 厚膜型 半导体式气敏传感器 二极管气敏传感器 非电阻式 MOS二极管气敏传感器 Pd—MOSFET气敏传感器 1、分类 半导体式气敏传感器的分类 加热极兼电极SnO2烧结a)结构(b)符号直热式气敏器件结构及符号2、电阻式气敏传感器的结构 SnO2系列气敏元件有烧结型、薄膜型和厚膜型三种。烧结型应用最广泛性。其敏感体用粒径很小(平均粒径≤１μm)的SnO2粉体为基本材料，根据需要添加不同的添加剂，混合均匀作为原料。主要用于检测可燃的还原性气体，其工作温度约300℃。根据加热方式，分为直接加热式和旁热式两种。（1）直接加热式SnO2气敏元件(直热式气敏元件)由芯片(敏感体和加热器)，基