硅材料相关知识及m硅片检验标准.pptxVIP

2022-8-24 一.晶体硅产业链相关知识 第1页/共29页 2022-8-24 一.晶体硅产业链相关知识 第2页/共29页 2022-8-24 一.晶体硅产业链相关知识 第3页/共29页 2022-8-24 一.晶体硅产业链相关知识 第4页/共29页 2022-8-24 二.单晶硅棒拉制及切片多晶硅料 第5页/共29页 2022-8-24 二.单晶硅棒拉制及切片多晶硅料 多晶硅使用前应检查外观、电阻率、碳和氧的含量（≤1016/cm3）。多晶硅的外观应呈银灰色，不允许存在夹层、发黑、氧化、指纹和沾污的痕迹。一般情况下，多晶硅块料使用前还应用1：5的HF：HNO3混合液进行腐蚀，再用高纯水清洗，烘干后使用。但是最好的方法是在多晶硅从沉积炉中取出后，以硅块互相敲击破碎（不允许使用其他材料的工具），然后直接装入坩埚，这样可以免除一次酸洗，既防止杂质污染硅材料，又有利于环境保护，同时降低工艺成本。 第6页/共29页 2022-8-24 拉制硅棒(单晶) 第7页/共29页 2022-8-24 单晶硅生长 第8页/共29页 2022-8-24 单晶硅生长 第9页/共29页 2022-8-24 拉制硅棒:单晶硅生长过程照片。（a）～（b）熔硅；（c）引晶；（d）细颈；（e）f放肩；（g）等径生长 第10页/共29页 2022-8-24 单晶硅生长 拉晶过程可以分为以下几个阶段： 1.