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丹东光刻机零部件项目申请报告.docx

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    泓域咨询/丹东光刻机零部件项目申请报告 报告说明 根据芯谋研究，以2020年中国晶圆厂商采购的8-12吋晶圆设备零部件产品结构为依据，在各类零部件中应用较多的有石英制品（11%）、射频发生器（10%）、泵（10%）、阀门（9%）、静电吸盘（9%）、喷淋头（8%）等。进一步测算得到中国大陆各细分零部件市场规模——以2022年为例，前三位的石英制品为16.03亿美元、射频发生器和泵均为14.57亿美元。根据Semi，假设CMP设备在半导体设备市场规模中占比为2017年-2019年占比的均值3.2%，且CMP设备专用零部件占CMP设备零部件总价值量的40%，可以得到全球CMP设备专用零部件市场202

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