光学薄膜技术-02光学特性.pptVIP

薄膜光学常数的椭圆偏振量 薄膜光学常数的椭圆偏振量 于是应有 应用实例 上面的实测透射率曲线上的两个极小值同为0.78，这说明这个膜层的折射率在这个波段没有色散。但对大多数薄膜材料来说，折射率曲线不可避免，直接表现为下页图所示的实测透射率曲线。 上面的实测透射率曲线中有多个极值，但是多个波长对应的极值不再相同。在这种情况下，可以对每一个极值波长采用上述方法计算出相应的折射率值。 应用实例 目标 1、掌握非相干叠加的光反射率和透射率。 2、掌握光学零件的实测反射率与膜层的折射率的关系，并能够解决实际问题。 3、了解势透射率，理解有吸收薄膜的反射、透射特性。 总结 薄膜光学的理论基础： 1）多光束干涉； 2）光学导纳、修正导纳； 3）菲涅尔公式； 4）单一界面的反射和透射特性； 等效光学导纳、等效界面、介质薄膜以及金属薄膜： 5）单层介质膜的光学特性； 6）多层介质膜的光学特性； 7）金属薄膜的光学特性； 8）光学零件的反射率和透过率。 光学薄膜的特性检测 第三组 徐彩霞 李佳 张琨 张立宏 路高原 光度法测量薄膜的光学常数 所谓光度法，指的是通过测量样品的反射率和透射率，经过计算，求出光学常数的方法。 这里的光学常数一般是指薄膜的折射率和消光系数。这种方法虽然精度不是很高，但已经能满足设计和制备的要求，所有得到广泛的应用 利用反射率求折射率 考虑透明膜的情况，也就是在考虑的波段内，均匀膜层对光没有吸收。 假定薄膜的折射率没有色散 在膜厚为λ/4奇数倍的那些波长上，其反射率为 式中，n是膜层的折射率， ns是基片的折射率，no是入射媒质折射率 于是测量折射率就成了简单的事情，只需要读取极值反射率，然后从上式求解n 同时 λ和λ’是两个相邻的极大（或极小）反射率波长 利用反射率求折射率 上面没有消除基片背面反射的影响。 要做到这一点，可将基片做成楔形，或将基片背面 磨毛、涂黑。或者作以下的修正 Ro是基片背面反射率， RF是光度计实测的反射率值 将Rm带入上面求得n 可求得薄膜厚度d为 利用反射率求折射率 利用透射率求折射率 测量透射率时，修正式为 To是未镀膜前基片的测量投射率； TF是膜厚λ/4奇数倍时测量的极值透射率 当nd等于λ/4的奇数倍时，上式透射率取得极值 光经过镀膜基片的透射率为 式中，T1，R1分别为镀膜表面的投射率和反射率；T2，R2分别为基片-空气表面的透射率和反射率；a和b为基片的吸收系数和厚度。 利用透射率求折射率 所以 于是得 光经过清洁基片的透射率为 利用透射率求折射率 上式求出Tm，而后带入上面式子便得到n 这种方法不仅校正了基片背面的吸收的影响，而且由于采用比较法测量，减小了光度计的测量误差。 前面我们假定膜层没有吸收，实际透明膜或多或少会有一些吸收 。可采用多次反射，通过延长光学路径的办法，便能测量若吸收的吸收系数 利用透射率求折射率 吸收系数的测量 这个装置由完全透明的平行平板做成，选择平板折射率no和角度i，以保证空气中能发生全反射，若平板长度为L，厚度为do 在膜层中的传播路径为 平板/膜层内表面的反射系数为ρ 由于膜层是吸收的，则光在膜层中每来回一次光强度就衰减一次 吸收系数的测量 于是经过2N次反射后从平板射出的光强变为 令 则可求出α为 吸收系数的测量 薄膜折射率的测量 布儒斯特角方法 n1 n2 b 布儒斯特定律 当线偏振光入射到折射率为n2的介质表面上时，如果偏振光平行于入射面，若入射角为布儒斯特角b，则入射光将不发生反射而全部透射。因此若入射角，直到反射光强为零时，得到布儒斯特角，从而计算介质的折射率n2。利用这种方法可以测量只有介质的折射率。薄膜的折射率也可以这样的到。 i p i 布儒斯特角方法 薄膜折射率的测量 用这种方法测量的精确度较低，因为入射波虽然在薄膜上表面不发生反射，但是在薄膜与基片的界面上仍有反射光透过薄膜折射进入空气，从而干扰测量。为了解决这个问题设计了如下的一种镀膜形式。 i p 当用线偏振光入射时，迎着反射光观察基片表面，由于膜层和玻璃表面的反射系数不同，所以能够看见镀膜区与不镀膜区域的分界线。当光线的入射角等于布儒斯特角时，膜的上表面没有反射光，但是在膜的后表面会有光被反射回来。现在用菲涅尔公式，膜层与玻璃上的振幅反射系数为 ng为基片玻璃折射率，i为介质膜射向基片的入射角，ig为基片中的折射角。 薄膜折射率的测量 布儒斯特角方法 n ng i ig 当入射介质薄膜光线的入射角为b时，应用入射角和折射角互余和折射定律有 而入射波在空气与基片界面的反射系数为 从上