过滤效率对照表 (2).xlsVIP

Sheet1 洁净室 美国联邦标准(FS 209E-1992) 洁净度等级 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm 公制 英制 个/m3 个/ft3 M1 -- M1.5 1级 M2 M2.5 10级 M3 M3.5 百级 M4 M4.5 千级 M5 M5.5 万级 M6 M6.5 十万级 M7 国家 美国 日本 中国 标准号 FS209D FS209E JIS B 9920 QJ2214 发行年 基准粒子 0.10.5 单位 pcs/ft3 pcs/m3 0.1μm1级 分级 - 0.1μm5级 0.1μm10级 欧洲标准 效率分级 ASHRAE 计重法% ASHRAE 比色计数法% EN1822 @MPPS% 美国DOP法 @0.3μm% G1 ＜65 G2 ≥65 G3 ≥80 G4 ≥90 F5 ≥40 F6 ≥60 F7 F8 F9 ≥95 H10 ≥85 H11 ≥98 H12 ≥99.5 ≥99.9 H13 ≥99.95 ≥99.97 H14 ≥99.995 ≥99.997 U15 ≥99.9995 ≥99.9997 U16 ≥99.99995 ≥99.99997 U17 ≥99.999995 ≥99.999997 DOP的这个效率并没有标准文献供参考，仅为行业内常用的参考范围 洁净室级别与过滤室级别的对比表 洁净室级别 美国联邦标准209D 美国联邦标准209E 100000 M6.5 10000 M5.5 1000 M4.5 100 M3.5 10 M2.5 1 M1.5 洁净室级别 德国工程师协会VDI2083 气 流 乱 流 过 渡 区 平 行 流 顶蓬过滤面积（%） 5~10 10~20 30~70 ＞80 ＞90 第一级过滤 DIN EN779 第二级过滤 DIN EN779 DIN 24183/EN 1822 F9 H10 H10 H12 H13 第三级过滤 DIN 24183/EN 1822 H12 H13 过滤级别 相应微粒（μm）及计数效率(%) 德国工业标准DIN24185 1μm 3μm 10μm 名称 计重法 比色法 5~30 50~70 粗效 过滤器 5~15 10~35 50~80 0~5 20~40 70~90 0~10 20~30 35~55 80~95 15~25 30~40 75~85 97~99 中效 过滤器 45~50 10~25 55~65 90~92 60~65 25~35 60~75 93~97 99 约100 高效 过滤器 84~87 35~45 65~75 85~90 92~94 45~60 90~95 99.5 97~98 .10 6.00 5.00 4.00 3.00 2.00 1.00 .00 .00 .00 .00 .00 .00 60.00 .00 .00 .00 .00 .00 70.00 10.00 .00 .00 .00 82.00 25.00 .00 .00 93.00 35.00 95.00 97.00 98.00 99.00 98.00 99.00 350.00 9.91 75.70 2.14 30.90 .88 10.00 .28 1240.00 35.00 265.00 7.50 106.00 3.00 35.30 1.00 3500.00 99.10 757.00 21.40 309.00 8.75 100.00 2.83 12400.00 350.00 2650.00 75.00 1060.00 30.00 353.00 10.00 35000.00 991.00 7570.00 214.00 3090.00 87.50 1000.00 28.30 26500.00 750.00 10600.00 300.00 3530.00 100.00 75700.00 2140.00 30900.00 875.00 10000.00 283.00 35300.00 1000.00 247.00 7.00 100000.00 2830.00 618.00 17.50 353000.00 10000.00 2470.00 70.00 1000000.00 28300.00 6180.00 175.00 3530000.00 100000.00 24700.00 700.0000 283000.00 61800.00 1750.00 1988.00 1992.00 1989.00 1991.00 .50 .50 .10 1.00 2.00 1.00 3.00 1.00 10.00 4.00 10.00 100.00 5.00 100.00 1000.00 6.00 1000.00 10000.00 7.00 10