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电子束蒸镀系统 技术指标 电 380V+/-10% 50Hz，5线制，每线电流小于50A 真空腔体和加载互锁真空室材质 304不锈钢 真空计测量范围 ATM to 5E-10 Torr 真空计精度 10-9 to 10-3 Torr ± 20% of reading 10-3 to 100 Torr ± 5% of reading 真空计寿命 3年以上 本底真空 2E-7torr，工作真空 5E-7torr 开机到工作真空所需时间 35分钟 膜厚仪品牌 INFICON，要求水冷，兼容八种材料（Ni Au Ti Ge Pt Pd Cr/Ni Au/Sn）测量范围和精度 速率 0.1 ?/sec 膜厚 0.1 ? 样品台尺寸 2英寸以上，需兼容两英寸样品样品台旋转速度 0-20rpm 八种材料（Ni Au Ti Ge Pt Pd Cr/Ni Au/Sn）的薄膜均匀性对两英寸样品要求≦±3% 坩埚个数 八，材料（Ni Au Ti Ge Pt Pd Cr/Ni Au/Sn）坩埚材质、Al2O3，Mo，Graphite；尺寸 7cc 电子枪 美国TLI HCR/ Temescal CV-6，自动导位，6KW 样品清洁 RF射频清洗 13.56 MHz RF power 300W Ar气体 计算机一台，PC 软件：厂家配套镀膜控制软件控制系统功能 全自动控制（含手动选项），安全互锁，多级密码，人机界面。