2560×2048元短波红外InGaAs焦平面探测器.docx

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2022-09-20 发布于天津
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0.?? 引　言短波红外InGaAs探测器得益于成熟的化合物半导体材料与工艺技术，具有高灵敏度、高探测率、室温工作、低功耗、高均匀性等优异的技术特性，有利于实现低功耗、小型化、高可靠性的红外系统，在空间遥感、驾驶视觉增强、医疗影像、文物鉴定等领域均有重要应用[1-4]。我国国家重大战略新一代航天遥感仪器向高空间分辨率、高能量分辨率、高时间分辨率发展，急需高性能的大规模小像元短波红外InGaAs焦平面探测器。短波红外InGaAs焦平面探测器是国内外的研究热点。美国的Goodrich公司、Teledyne公司、Judson公司、法国Sofradir公司、日本Sony公司等分别布局短波红外InG