原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
镀膜真空术语全集(中英文对照）
分压真空计（分压分析器)
5—1。射频质谱仪radio frequency mass spectrometer：
5—2。四极质谱仪(四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer： 5—3。单极质谱仪momopole mass spectrometer：
5-4.双聚焦质谱仪 double focusing mass spectrometer： 5—5.磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：
5-6。余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer： 5—7。回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：
5—8。飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：
真空计校准
。标准真空计 reference gauges： 6-2.校准系统 system of calibration：
6—3。校准系数K calibration coefficient： 6-4.压缩计法 meleod gauge method:
6-5.膨胀法 expansion method： 6—6.流导法flow method:
4。 1。真空系统vacuum system 1—1。真空机组pump system：
1—2。有油真空机组pump system used oil ：
1-3.无油真空机组 oil free pump system
1—4。连续处理真空 设备 continuous treatment vacuum plant： 1-5。闸门式真空系统 vacuum system with an air—lock:
1—6.压差真空系统differentially pumped vacuum system： 1-7.进气系统 gas admittance system：
2。真空系统特性参量
2—1.抽气装置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：
2—2.抽气装置的抽气量throughput of a pumping unit :
2—3。真空系统的放气速率degassing（outgassing) throughput of a vacuum system： 2—4.真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system：
2—5.真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber： 2-6。极限压力 ultimate pressure:
2-7。残余压力 residual pressure：
2-8.残余气体谱 residual gas spectrum： 2-9.基础压力 base pressure：
2—10.工作压力working pressure： 2—11。粗抽时间roughing time:
2—12。抽气时间pump—down time：
2—13。真空系统时间常数time constant of a vacuum system: 2-14.真空系统进气时间venting time:
3。真空容器
3-1.真空容器；真空室vacuum chamber： 3-2。封离真空装置 sealed vacuum device:
3-3.真空钟罩 vacuum bell jar:
3-4.真空容器底板 vacuum base plate： 3—5。真空岐管vacuum manifold：
3-6。前级真空容器（贮气罐)backing reservoir： 3-7。真空保护层 outer chamber：
3—8。真空闸室vacuum air lock:
3—9。真空冷凝器；蒸汽冷凝器device for condensing vapor：
真空封接和真空引入线
。永久性真空封接permanent seal :
4。2。 玻璃 分级过渡封接graded seal ：
4—3。压缩玻璃金属封接＊＊＊pression glass -to—metal seal： 4-4.匹配式玻璃金属封接matched glass—to-metal seal:
4—5.陶瓷金属封接ceramic—to—metal seal： 4—6。半永久性真空封接semi—permanent seal : 4—7.可拆卸的真空封接demountable joint：
4-8.液体真空封接 liquid seal
4-9.熔融金属真空封接molten metal seal： 4—10.研磨面搭接封接ground an
文档评论（0）