光学连续闭环光电编码器误差检测系统.docx

0.?? 引　言 光电编码器是以高精度计量圆光栅为检测元件，通过光通量变化，将角位置信息转换为数字代码的高精度非接触测量装置。具有测量精度高、体积小、质量轻和使用可靠等优点，广泛应用于雷达、光电经纬仪、数控机床及闭环调速系统等领域[1-2]。但编码器在实际生产过程中，存在光学码盘的光栅线刻划不均匀、编码器主轴与轴承配合间隙过大及安装偏心等问题，导致编码器经常出现误差或误码等情况，严重影响编码器的正常使用。光电编码器精度检测是控制编码器质量的重要一环，也是保证编码器高分辨力、高精度的必要条件[3-4]。 德国联邦物理技术研究院利用非均匀分布的16个读数头分析编码器误差，不确定度仅为0.01″，但