单光子探测盖革雪崩焦平面用低抖动多相位时钟电路设计.docx

1.?? 引言 单光子探测技术可应用于3维测距[1]、3维成像[2]、荧光寿命成像[3]，是一种具有广泛应用前景的3维探测技术。盖革雪崩光电二极管具有单光子探测灵敏度[4,5]，基于该类型二极管阵列的无扫描激光雷达具有探测灵敏度高、光机结构紧凑、探测效率高等优势，正逐渐成为一种重要的激光雷达技术方案[6,7]。 探测系统通过计量光子飞行时间(Time of Flight, ToF)计算距离，激光器向被测场景发出激光并启动计时器计时，激光到达被测物体后返回，探测器接收到回波信号停止计时，通过光子飞行时间可计算探测距离。ToF由盖革雪崩焦平面内的读出电路(ReadOut Integrated Ci