材料现代研究方法课件-扫描电子显微镜2015.pptVIP

第3章 扫描电子显微镜 第1篇 1390℃ 链接Al2O3陶瓷 1400 ℃链接Al2O3陶瓷 （3） 陶瓷连接 15MPa压力下 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 在基片上镀一次膜 膜干裂 在基片上镀15次膜裂纹 （4）膜材料研究 加入干燥控制剂 多孔氧化铝模板制备的金纳米线的形貌 （a）低倍像 （b）高倍像 （5）纳米材料形貌分析 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 本章重点： （1）电子束与固体样品作用时产生的信号 （2）扫描电镜的工作原理 （3）扫描电镜衬度像（ 二次电子像、背散射电子像 （4）扫描电镜的制样方法 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 * * 2. 信号收集及显示系统 （1）信号收集系统 检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 （2）图像显示系统 将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像或数字图像信号，供观察或记录。 将数字图像信号以图形格式的数据文件存贮硬盘中，可随时编辑或用办公设备输出。 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 3. 真空系统和电源系统 （1）真空系统：保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，要求保持10-2-10-3Pa的真空度。 （2）电源系统：由稳压，稳流及相应的安全保护电路所组成，作用是提供扫描电镜各部分所需的电源。 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 一、扫描电镜的特点 二、电子束与固体样品作用时产生的信号 三、扫描电镜的工作原理 四、扫描电镜的构造 五、扫描电镜衬度像 六、扫描电镜的主要优势 七、扫描电镜的制样方法 八、扫描电镜应用实例 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 形成原因：试样表面微区特征的差异，主要 指形貌和原子序数的不同。 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 1. 二次电子像 成像信号：二次电子（E50eV） 成像衬度：形貌衬度（试样表面形貌差别引起） 成像特点： （1）二次电子数量和原子序数没有明显的关系。 （2）反映表面10nm层内的状态，成像分辨率高 （3～6nm），代表SEM的分辨率。 * （3）二次电子发射系数与入射电子束和试样表面 法线间的倾角?有关： ?(?)=?0/cos ? ?0： ? =0时的二次电子系数 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 （1）0o二次电子产额少 （2）45o时，有效深度增加1.41倍 （3）60o时，有效深度增加2倍， 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 2. 背散射电子像 （1） 形貌衬度 样品表面形貌影响背散射电子的产率，在?角较大处，背散射电子产率高，在?角较小处，背散射电子产率低。 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 B. 能量高，直线逸出，无法收集背向检测器的信号 A. 作用体积大，分辨率比二次电子低。 锡铅镀层的表面图像（a）二次电子图像（b）背散射电子图像 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 * （2） 成分衬度 物质原子序数（或化学成分）差别形成的衬度 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 锡铅镀层的背散射电子图像 * 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 背散射电子发射系数： 重元素区域是亮区，轻元素区域是暗区。 利用原子序数造成的衬度变化，可对材料进 行元素定性分析。 * 1. 二次电子像 分辨率高，立体感强，主要反映形貌特征 2. 背散射电子像 分辨率低，立体感差，但既能反映形貌特征，又能定性探测元素分布 第3章 扫描电子显微镜 第1篇 （3）背散射电子像的获得 信号