CCD它具有结构简单,基础度高,制造工序少,功耗低,信噪比好等优点。CCD有线阵和面阵二种,CCD是一种半导体集成器件,它由MOS光敏元、移位寄存器、电荷转移栅等部分组成。一.MOS光敏元的工作原理
所谓MOS结构;一般都以硅作为半导体衬底,在其上热生长一层二氧化硅(SiO2),并在二氧化硅上面淀积具有一定形状的金属层。因为它是由金属(M)—氧化物(O)—半导体(S)三层所组成,故称MOS结构。 二.移位寄存器
移位寄存器由金属电极、氧化物介质及半导体三部分组成,也是MOS结构,它不能使它受光照射,应防止外来光线的干扰。;三.光敏单元中的电荷向移位寄存器转移 现在来说明光敏单元中的电荷是怎样转移(读出)至移位寄存器的。 如图,光敏区中产生的电荷,由转移门Z控制转移至a1、a2、----an极下的势阱。但如何解决光敏区中的光敏单元数与移位;由图中可看出,从t0到t2光敏单元a1中的电荷已转移至a1极下的势阶。同理,光敏单元a1、a2…an中的电荷同时转移至 a1、a2…an极下的势阱。这是一个平行转移的过程。
由于t2以后转移电极Z上的电压恢复为零,相当于把光敏区和移位寄存器之间的“门”阻塞。自t3以后,光敏单元又重新进行光积累(光积分),;移位寄存器a1、b1 、c1;a2、b2 、c2;--
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