半导体电气安全.PDFVIP

Licensed by SEMI to Kelly Kuang Downloaded: 2016-11-09 Single-user license only, copying and networking prohibited. SEMI S22-0706a 半導體製造設備電氣設計安全基準 本安全基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員會核准。本版本由全球稽核及審查小組委員會於 2006 年 8 月24 日核准出版，並於2006 年 10 月於 發行線上版本，同年 11 月發行光碟版。本基 準原始版本於 年 月發行， 年 月再版。 2003 11 2006 7 注意 ：本安全基準中以「註」為 標題的段落並非正式內容，不得以此修改或取代正式的安全基 準。委員會提供註解內容係為方便本安全基準的使用。 注意 ：符合本基準提及「應」字的內容規定始屬符合本文件之標準。符合本文件標準不代表亦 需符合提及「可能」、「建議」、「偏好」、「推薦」或「註」及「相關資料」之內容規定。 注意：本⽂件包含經由全球環境、衛⽣與安全委員會投票並核准（但並⾮⽴即⽣效）之內容；