位移与速度测量传感器.pptVIP

* 第八十七页，共一百三十页，2022年，8月28日 * 4.5 光栅传感器 4.5.1光栅结构与种类 光栅是在透明的玻璃上刻有大量相互平行、等宽而又等间距的刻线。没有刻线的地方透光（或反光），刻线的地方不透光（或不反光）。图4-43所示的是一块黑白型长光栅，平行等距的刻线称为栅线。设其中透光的缝隙宽度为a，不透光的缝隙宽度为b，一般情况下，a＝b。图中w＝a+b称为光栅栅距(或光栅节距、光栅常数)，它是光栅的一个重要参数。对于圆光栅来说，除了参数栅距之外，还经常使用栅距角。栅距角是指圆光栅上相邻两刻线所夹的角。 图4-43 光栅结构 第八十八页，共一百三十页，2022年，8月28日 * 4.5.1光栅结构与种类 光栅按其用途分长光栅和圆光栅两类。 刻画在玻璃尺上的光栅称为长光栅，也称光栅尺，用于测量长度或几何位移。根据光线的走向，长光栅还分为透射光栅和反射光栅。 透射光栅是将光栅线刻制在透明材料上，通常选用光学玻璃和制版玻璃。反射光栅的栅线刻制在具有强反射能力的金属上，如不锈钢或玻璃镀金属膜（如铝膜），光栅也可刻制在钢带上再粘结在尺基上。 刻画在玻璃盘上的光栅称为圆光栅，也称光栅盘，用来测量角度或角位移。根据栅线刻画的方向，圆光栅分两种，一种是径向光栅，其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心；另一种是切向光栅，其全部栅线与一个和光栅盘同心的小圆相切。圆光栅只有透射光栅。 第八