第三章压力传感器.pptVIP

3.5 电容式压力传感器 电容式压力及力传感器是将被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容量的变化的一种传感器。实际上，它本身就是一个可变电容器。目前，从工业生产过程自动化应用来说，有压力、差压、绝对压力、带开方的差压（用于测流量）等品种及高差压、微差压、高静压等规格。 第三十页，共六十二页。 3.5 电容式压力传感器 3.5.1 电容式传感器的工作原理 电容式传感器有三种基本类型：变极距型、变面积型、变介电常数型。 1、变极距型电容传感器 第三十一页，共六十二页。 3.5 电容式压力传感器 2、变面积型电容传感器 3、变介电常数型电容传感器 第三十二页，共六十二页。 3.5 电容式压力传感器 3.5.2 差动电容传感器 在实际压力测量中，常使用差动点电容传感器，不但提高了灵敏度，也改善了非线性。 第三十三页，共六十二页。 3.5 电容式压力传感器 3.5.3 测量电路 电桥电路、调频电路、脉冲调宽电路和运算放大器式电路等。 1、桥式电路 空载电压为： 第三十四页，共六十二页。 3.5 电容式压力传感器 2、紧耦合电桥电路 紧耦合电桥理论可得此状态下输出电压