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光学MEMS器件 定义 Optical Transducers，MOEMS, Optical MEMS 分类 传统的光传感器、转换器 光传感、成像、发光器件（光电子） 利用光进行传感的器件 位置传感器、光谱仪、DNA芯片 利用微机械加工方法形成的器件 传统器件的新生命 新型器件 第三十一页，共五十六页，2022年，8月28日 传统的光传感器 光传感方式 成像系统(Imager) CCD CMOS 发光系统 LED 半导体激光器 等离子 生物发光 光调节器 第三十二页，共五十六页，2022年，8月28日 发光器件 场发射（FEDs） 未来的显示设备(FPD) 第三十三页，共五十六页，2022年，8月28日 新器件——组件 微镜 Mirror Support Structure Substrate Hinges Torsion Hinges 1st DOF 2nd DOF Force-redirecting Linkage 第三十四页，共五十六页，2022年，8月28日 各种光学元器件 透镜、波带片、滤波器、光栅及各种致动机构 新器件——组件 第三十五页，共五十六页，2022年，8月28日 微光学系统 微光学工作台（Micro Optical Bench） 第三十六页，共五十六页，2022年，8月28日 微型显示阵列（光调制器） 数字镜面显示（DMD） 原理 改变反射方向 第三十七