传感器及检测技术---电容式传感器【课件】.ppt

第四节 电容式传感器应用举例 2、容栅式传感器 容栅式传感器是在变面积型电容传感器的根底上进展起来的一 种新型传感器。它在具有电容式传感器优点的同时，又具有多 极电容带来的平均效应，而且承受闭环反响式等测量电路减小 了寄生电容的影响、提高了抗干扰力量、提高了测量精度(可达 5?m)、极大地扩展了量程(可达1m)。 容栅式传感器是一种很有进展前途的传感器。现已应用于数显 卡尺、测长机等数显量具。 将电容传感器中的电容极板刻成肯定外形和尺寸的栅片，再配 以相应的测量电路就构成了容栅测量系统。正是特定的栅状电 容极板和独特的测量电路使其超越了传统的电容传感器，适宜 进展大位移测量。