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. 各种镀膜机工作原理介绍 1．空心阴极离子镀原理 在本底真空为高真空的条件下，由阴极中通 入氩器气（1-10-2） 在阴极与辅助阳极之间加上引弧电压，使氩 气发生辉光放电，在空心阴极内产生低压等 离子体放电，阴极温度升高到 2300-2400K 时，由冷阴极放电转为热阴极放电，开始热 电子发射，放电转为稳定状态。通入反应气 体，可以制化合膜。 2.测控溅射工作原理 先将真空室预抽至 10-3Pa，然后通入气体 （如氩气），气压为1-10 Pa 时，给靶加负 电压，产生辉光放电，电子在电场正作用下 加速飞向基片时，与氩原子碰撞，电离出 Ar 和另一个电子； 轰击靶材，由二次电子电离的 越来越多， 不断轰击靶材；磁场改变电子的运动方 向， 以电磁场束缚和延长 电子的运动轨迹，从而 . . 提高电子对工作气体的电离几率。 3.多弧离子镀工作原理 其工作原理为冷阴极自持弧光放电，其物理 基础为场致发射。 被镀材料接阴极，真空室接阳极，真空室抽 为高真空时，引发电极启动器，接触拉开， 此时，阴极与阳极之间形成稳定的电弧放 电，阴极表面布满飞速游动的阴极斑，部分 离子对阴极斑的轰击使其变成点蒸发源，以 若干个电弧蒸发源为核心的为多弧离子镀。 4. 电阻蒸发式镀膜机 膜材即要镀的材料放于蒸发舟中，置于真空 室中，抽到一定真空时，通过电阻加热膜材， 使其蒸发，当蒸发分子的平均自由程大于蒸 发源至基片的线性尺寸时，原子和分子从蒸 发源中逸出后，到达基片形成膜。为了使膜 厚均匀，可以利用电机带动基片旋转，并用 膜厚仪控制膜厚，制出优质膜。 . . 5.E 型枪工作原理 阴极灯丝加热后发射具有 0.3 EV 初动能 的热电子，这些热电子在灯丝阴极与阳极之 间的电场作用下加速并会聚成束状。在电磁 线圈的磁场中，电子束沿E x B 的方向偏转， 通过阴极时，电子的能量提高到 10KV，通 过阳极电子偏转 270 度角而入射坩埚内的 膜材表面上，轰击膜材使其蒸发。 6.PCVD 镀膜工作原理 将被镀件放在低压辉光放电的阴极上，通入 适当气体，在一定温度下，利用化学反应和 离子轰击相结合的过程，在工件表面获得涂 层。 .