PN结二极管工作原理及制备工艺.pptxVIP

会计学; 在物理学中，根据材料的导电能力，可以将他们划分为导体、绝缘体和半导体。 典型的半导体是硅Si和锗Ge，它们都是4价元素。; 本征半导体的共价键结构; 这一现象称为本征激发，也称热激发。;杂质半导体;;说明;★PN结：;一、PN结正向偏置;二、PN结反向偏置; PN结正偏时呈导通状态，正向电阻很小，正向电流很大； PN结反偏时呈截止状态，反向电阻很大，反向电流很小。 —— PN结的单向导电性;在一个PN结的两端，各引一根电极引线，并用外壳封装起来就构成了半导体二极管，（或称晶体二极管，简称二极管。;;工艺流程图;（0）准备;晶体生长，晶圆切、磨、抛;p-Si;(2) 涂胶;;（3）曝光;（4）显影;（5）腐蚀;（6）去胶;（7）杂质扩散;(8)驱入;（9）金属化 ;(10)涂胶;黑色部分都是不透光的，四周的白色部分是刻蚀金属的位置。 ;(11)曝光mask2板;(12)显影 ;(13)腐蚀;（14）去胶;总体流程