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- 2023-01-09 发布于四川
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本公开涉及一种抛光底盘、抛光治具及抛光装置。抛光底盘包括底盘本体,所述底盘本体的第一侧设有呈环状分布的第一定位凸起和/或第一定位槽,所述第一定位凸起用于与仿形盘上的第二定位槽相配合,所述第一定位槽用于与所述仿形盘上的第二定位凸起相配合。该抛光底盘可以通过定位凸起和定位槽来实现定位,能够防止仿形盘发生变形,进而避免了因仿形盘变形带来无法将玻璃盖板放入仿形盘以及对玻璃盖板真空吸附不稳的问题。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218226124 U
(45)授权公告日 2023.01.06
(21)申请号 202222465967.X
(22)申请日 2022.09.15
(73)专利权人 河南曲显光电科技
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