电子级氯气产品开发的研究.docx

电子级氯气产品开发的研究 电子气体是微电子、光电子不可缺少的原材料，是确保高科技发展最基础的环节。近年 来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化发展，作为重要电子气体的高纯氯将发挥重要 的作用。目前电子级氯气纯度要求在99.999%以上，由于金属离子对光纤质量影响很大，而水分对光纤轻基含量影响较大，因此电子级氯气对水分、金属等杂质要求极高。而且氯气具 有强氧化、强腐蚀的化学性质，除了少数稀有气体外，几乎能与所有元素形成化合物，因此 制备过程中对设备和工艺要求很高。 目前国内制备的氯气纯度偏低，越来越不满足电子工业，尤其是集成电路的要求。本项目拟直接采用氯气进行精馏吸附的提纯方法，避免了其它杂质介质的引入，生产能满足半导体行业使用要求的产品。 1、生产工艺 氯气原料从脱水塔塔底进入，脱水塔顶部加入四氯化硅，四氯化硅与氯气原料中的水反应从而将水分脱除，脱水塔塔顶采出少量轻组分，由于四氯化硅与水反应为放热反应，因此 脱水塔塔釜采出一部分经中间取热冷凝器冷却后返回脱水塔中部，另一部分作为原料进入四氯化硅塔；四氯化硅塔塔顶气相采出进入分凝器，液相回流，气相作为原料进入脱轻塔，塔釜采出未反应的四氯化硅。脱轻塔塔顶气相采出进入分凝器，液相回流，气相作为轻杂质采 出，塔釜采出作为原料进入氯气塔。 2、关键技术 在C1 的纯化中，筛选出吸附剂的改性技术。 2 Cl 中杂质的净除和分析检测技术。 2