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激光精密加工技术的现状和展望
激光材料加工涉及范围很广，材料的烧结、打孔、打标、切割、焊接、表面改性和化学气相
沉积等都已把激光作为一种必不可少的能源。
激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特别适合于精密加工。我们按照加工材料的尺寸大
小和加工的精度要求，将目前的激光加工技术分为三个层次：
①大型件材料激光加工技术，以厚板（数毫米至几十毫米）为主要对象，其加工精度一
般在毫米或者亚毫米级；
②精密激光加工技术，以薄板（0．1～1．0 mm）为主要加工对象，其加工精度一般在
十微米级；
③激光微细加工技术，针对厚度在100μm 以下的各种薄膜
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