Pd-Ni合金薄膜氢气传感器中隔离膜性能与机理研究.pdfVIP

Ｐｄ⁃Ｎｉ合金薄膜氢气传感器中隔离膜性能与机理研究 摘要：针对Ｐｄ⁃Ｎｉ合金薄膜氢气传感器的响应特性与零点稳定性受氧气氛影响的问题，分别用 离子束溅射技术和原子层沉积技术制备了１００ ｎｍ Ｐｄ⁃Ｎｉ 合金薄膜氢气敏感电阻和 １０ ｎｍ Ａｌ Ｏ／ ＳｉＯ／ Ａｌ Ｏ 复合隔离膜，并测试对比了有隔离膜和无隔离膜样品的氢敏响应特性和零 ２ ３ ２ ２ ３ 点稳定性，分析了氧气氛影响氢敏特性与隔离膜阻氧透氢的机理。 结果表明：复合隔离膜对灵 敏度影响极小，起到了较好的透氢阻氧作用，大大改善了空气作为背景气体的氢敏响应特性和 零点稳定性，但隔离膜对Ｐｄ⁃Ｎｉ合金薄膜氢气传感器的响应时间和恢复时间有负面影响。 关键词：薄膜；氢气传感器；隔离膜；Ｐｄ⁃Ｎｉ合金；透氢；阻氧 Ｓｔｕｄｙ ｏｎ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ａｎｄ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｏｆ Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ Ｆｉｌｍ ｉｎ Ｐｄ⁃Ｎｉ Ａｌｌｏｙ Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｈｙｄｒｏｇｅｎ Ｓｅｎｓｏｒ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｒｅｓｐｏｎｓｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓａｎｄｚｅｒｏｐｏｉｎｔ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｏｆ ＰｄＮｉ ａｌｌｏｙ ｔｈｉｎｆｉｌｍｈｙｄｒｏｇｅｎ ｓｅｎ⁃ ｓｏｒ ａｒｅ ａｆｆｅｃｔｅｄ ｂｙ ｔｈｅ ｏｘｙｇｅｎ ａｔｍｏｓｐｈｅｒｅ． Ｔｏ ｓｏｌｖｅ ｔｈｉｓ ｐｒｏｂｌｅｍ，１００ ｎｍ ＰｄＮｉ ａｌｌｏｙ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｈｙ⁃ ｄｒｏｇｅｎ ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ａｎｄ １０ ｎｍ Ａｌ Ｏ／ ＳｉＯ／ Ａｌ Ｏ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｆｉｌｍ ｗｅｒｅ ｐｒｅｐａｒｅｄ ｂｙ ２ ３ ２ ２ ３ ｉｏｎ ｂｅａｍ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ ａｎｄ ａｔｏｍｉｃ ｌａｙｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ． Ｔｈｅ ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ ｒｅｓｐｏｎｓｅ ｃｈａｒ⁃ ａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ａｎｄ ｔｈｅ ｚｅｒｏ ｐｏｉｎｔ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｏｆ ｓａｍｐｌｅｓｗｉｔｈ ｏｒ ｗｉｔｈｏｕｔ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｆｉｌｍｗｅｒｅ ｔｅｓｔｅｄ ａｎｄ ｃｏｍ⁃ ｐａｒｅｄ． Ｔｈｅ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｏｆ ｏｘｙｇｅｎ ａｆｆｅｃｔｉｎｇ ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ａｎｄ ｏｘｙｇｅｎ ｂａｒｒｉｅｒ／ ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｐｅｒｍｅ⁃ ａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｍｅｍｂｒａｎｅ ｗｅｒｅ ａｎａｌｙｚｅｄ． Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗｅｄ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｆｉｌｍ ｈａｄ ｌｉｔｔｌｅ ｅｆｆｅｃｔ ｏｎ ｔｈｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ． Ｉｔ ｐｌａｙｅｄ ａ ｇｏｏｄ ｒｏｌｅ ｏｆ ｏｘｙｇｅｎ ｂａｒｒｉｅｒ／ ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ ａｎｄ ｔｈｅ ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｒｅｓｐｏｎｓｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ａｎｄ ｚｅｒｏ ｐｏｉｎｔ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｗｅｒｅ ｇｒｅａｔｌｙ ｉｍｐｒｏｖｅｄ ｗｈｅｎ ａｉｒ ｗａｓ ｔｈｅ ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ ｇａｓ． Ｈｏｗｅｖｅｒ，ｔｈｅ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｆｉｌｍ ｈａｄ ａ ｎｅｇａｔｉｖｅ ｅｆｆｅｃｔ ｏｎ ｔｈｅ ｒｅｓｐｏｎｓｅ ｔｉｍｅ ａｎｄ ｒｅｃｏｖｅｒｙ ｔｉｍｅ ｏｆ ＰｄＮｉ ａｌｌｏｙ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｓｅｎｓｏｒ． Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ：ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ； ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｓｅｎｓｏｒ； ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｆｉｌｍ； Ｐｄ⁃Ｎｉ ａｌｌｏｙ； ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ； ｏｘｙｇｅｎ ｂａｒｒｉｅｒ 第３期　 　 　 　 谢贵久，等． Ｐｄ⁃Ｎｉ合金薄膜氢气传感器中隔离膜性能与机理研究 ３３９ １　 引言 度扩散，进入Ｐｄ⁃Ｎｉ合金晶格，形成ＰｄＨ 化合物，ｘ 导致体积膨胀引起薄膜电阻变化，该变化与氢气