1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种晶棒平整度的检测装置.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约1.3万字
  • 约 12页
  • 2023-02-02 发布于四川
  • 举报

一种晶棒平整度的检测装置.pdf

    本实用新型提供了一种晶棒平整度的检测装置，所述检测装置包括：样品台，所述样品台用于放置待测晶棒；底座，所述样品台水平滑动设置于所述底座上；千分表，所述千分表设置于底座的正上方；升降装置，所述升降装置包括升降台，所述升降台上设置有固定千分表的夹持部。本实用新型通过升降装置控制千分表上升和下降，且通过控制样品台的水平移动，可将所述晶棒不同测试点位于千分表的正下方，获取所述晶棒的不同测试点的数值，可以满足不同尺寸晶棒表面的平整度测试，利用该装装置检测晶棒平整度的准确度高，且效率高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212340154 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202020863575.7 (22)申请日 2020.05.21 (73)专利权人 山东天岳先进科技股份有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >