原创力文档- 4
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- 2023-02-03 发布于四川
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本实用新型揭示了用于半导体基板的搬运手臂，包括固定板、可拆卸连接固定板同侧且平行间隔设置的多个条形支撑体、多个嵌入条形支撑体内的吸附组件，所述条形支撑体底部设有连通各吸附组件的真空吸附管，所述吸附组件包括固定座、设于固定座底部的固定块、设于固定座顶部的固定槽、设于固定槽中的安装座、弹性嵌入安装座内的盖板、设于盖板内部空腔中用于弹性支撑固定座与盖板的吸盘；所述固定块中贯穿设有连通真空吸附管和盖板内部空腔的真空孔，盖板上开设有连通其内部空腔的吸附孔。本实用新型实现了提高搬运手臂的稳定性，具备抗震性和
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212342593 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202022825336.5
(22)申请日 2020.12.01
(73)专利权人 苏州芯慧联半导体科技有限公司
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