现代分析测试技术俄歇电子谱.pptxVIP

会计学第1页/共68页电子能谱学的定义定义：利用具有一定能量的粒子（光子、电子、粒子）轰击特定的样品，研究从样品中释放出来的电子或离子的能量分布和空间分布，从而了解样品的基本特征的方法。 工作原理：入射粒子与样品中的原子发生相互作用，经历各种能量转递的物理效应，最后释放出的电子和粒子具有样品中原子的特征信息。通过对这些信息的解析，可以获得样品中原子的各种信息如含量，化学价态等。第2页/共68页 电子能谱学的内容非常广泛，凡是涉及到利用电子，离子能量进行分析的技术，均可归属为电子能谱学的范围。 根据激发离子以及出射离子的性质，可以分为以下几种技术。 紫外光电子能谱(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy，UPS）， X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy，XPS）, 俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES）， 离子散射谱（Ion Scattering Spectroscopy，ISS）， 电子能量损失谱（Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS）等。第3页/共68页电子能谱分析光电子能谱Auger电子能谱X-射线光电子能谱紫外光电子能谱第4页/共68页俄歇电子能谱法俄歇电子能谱法：用具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品产生俄